[發明專利]用于微機電的測量變換器的膜片裝置和用于制造膜片裝置的方法有效
| 申請號： | 201380019462.1 | 申請日： | 2013-03-05 |
| 公開（公告）號： | CN104203806B | 公開（公告）日： | 2017-07-11 |
| 發明（設計）人： | M.達利;R.舍本;C.舍林 | 申請（專利權）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 張曄,胡斌 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 微機 測量 變換器 膜片 裝置 制造 方法 | ||
1.微機電的膜片裝置（100、200、300），其具有：
- 基片（4），所述基片在表面上具有多個空隙（4a）；
- 能夠導電的第一電極層（1），所述第一電極層布置在所述基片（4）的表面上并且所述第一電極層具有多個與所述基片（4）的空隙（4a）相一致的第一凹部（1a）；以及
- 能夠沿著與所述基片（4）的表面垂直的方向偏移的并且能夠導電的膜片層（2、7），所述膜片層布置在所述第一電極層（1）的上方并且以第一間距值（xG）與所述第一電極層（1）隔開；
其特征在于，
能夠導電的第二電極層（3），所述第二電極層布置在所述膜片層（2、7）的上方，并且所述第二電極層具有多個構造在所述第一凹部（1a）上方的第三凹部（3a），其中所述膜片層（2）具有多個構造在所述第一凹部（1a）上方的第二凹部（2a），并且其中所述第二凹部（2a）的外壁（2b）相對于所述第三凹部（3a）的外壁在平行于所述基片（4）的表面的情況下具有第二間距值（yG），其中所述第一凹部（1a）、第二凹部（2a）和第三凹部（3a）彼此構造成，在所述膜片層（2）垂直于所述基片（4）的表面偏移時，使所述第二凹部（2a）無接觸地嵌入到所述第一凹部（1a）和第三凹部（3a）中。
2.按權利要求1所述的膜片裝置（100、200），其中所述第二凹部（2a）被設計用于：在所述膜片層（2）垂直于所述基片（4）的表面偏移時無接觸地嵌入到所述第一凹部（1a）中。
3.按權利要求1或2所述的膜片裝置（100），其中所述第二凹部（2a）具有外壁（2b），所述外壁具有比所述第一間距值（xG）大的、垂直的延伸度。
4.按權利要求1或2所述的膜片裝置（200），其中所述第二凹部（2a）具有外壁（2b），所述外壁具有剛好與所述第一間距值（xG）一樣大的、垂直的延伸度。
5.按權利要求1或2所述的膜片裝置（200），其中，所述第一凹部（1a）的外壁相對于所述第二凹部（2a）的外壁（2b）在平行于所述基片（4）的表面的情況下具有第二間距值（yG）。
6.按權利要求1或2所述的膜片裝置（100、200、300），其中所述第一電極層（1）和所述基片（4）具有多個構造在所述第一凹部（1a）中的第一壓力補償孔（5a）。
7.按權利要求1或2所述的膜片裝置（100、200、300），其中所述第一電極層（1）由所述基片（4）構造。
8.按權利要求1所述的膜片裝置（100、200、300），其中所述第二電極層（3）具有多個構造在所述第三凹部（3a）中和/或構造在所述第三凹部（3a）之間的第三壓力補償孔（5b、5c）。
9.微機電的結構元件，其具有按權利要求1到8中任一項所述的微機電的膜片裝置（100、200、300）。
10.按權利要求9所述的微機電的結構元件，其中所述微機電的結構元件是壓力傳感器、麥克風或者揚聲器。
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