[發明專利]靜壓氣體軸承及使用該靜壓氣體軸承的直動引導裝置

有效

• 申請號: 201380019352.5
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號: CN104204573B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: 佐藤光
• 申請（專利權）人: 奧依列斯工業株式會社
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 茅翊忞

1.一種靜壓氣體軸承，其特征在于，包括：

合成樹脂制的軸承基體，該軸承基體包括基部、環狀突出部和供氣通路，所述環狀突出部從所述基部的一方的面與該一方的面一體地突出設置，所述供氣通路的一端在所述環狀突出部的突出端面開口，而另一端在基部的外周面開口，并且該供氣通路設置在基部及環狀突出部中；

合成樹脂制的軸承體，該軸承體分別具有環狀凹處、環狀凹槽和作為自成孔式節流器的多個空氣吹出孔，所述環狀凹處形成在與基部的一方的面面對的一方的面上，并且對軸承基體的環狀突出部進行收容，所述環狀凹槽在另一方的面上開口，多個所述空氣吹出孔的一端與環狀凹槽連通，并且另一端在環狀凹處開口；以及

自激振動衰減機構，該自激振動衰減機構使因經由環狀凹槽從空氣吹出孔將空氣吹出而發生的自激振動衰減，

軸承體在形成環狀凹處的軸承體的外側圓周面及內側圓周面與環狀突出部的外周面及內周面焊接接合而與軸承基體形成為一體，

自激振動衰減機構包括空氣室和至少一個節流孔，所述空氣室形成于軸承基體或軸承體，或利用軸承基體及軸承體的協同作用形成，所述節流孔的一端與該空氣室連通，而另一端在軸承體的另一方的面開口。

2.如權利要求1所述的靜壓氣體軸承，其特征在于，

環狀凹槽具有至少0.3mm的寬度和至少0.01mm的深度，空氣吹出孔在一端具有至少30μm的直徑。

3.如權利要求1或2所述的靜壓氣體軸承，其特征在于，

環狀凹槽具有0.3mm～1.0mm的寬度和0.01mm～0.05mm的深度，所述空氣吹出孔在一端具有30μm～120μm的直徑。

4.如權利要求1至3中任意一項所述的靜壓氣體軸承，其特征在于，

利用激光加工來形成環狀凹槽、空氣吹出孔及節流孔中的至少一方。

5.如權利要求1至4中任意一項所述的靜壓氣體軸承，其特征在于，

軸承基體的環狀突出部的外周面具有圓筒外壁面、與該圓筒外壁面連續且從該圓筒外壁面向外側逐漸擴徑的環狀的截頭圓錐外壁面、與該截頭圓錐外壁面連續且與所述基部的一方的面相連并且比圓筒外壁面的直徑大的圓筒外壁面，軸承基體的環狀突出部的內周面具有圓筒內壁面、與該圓筒內壁面連續且從該圓筒內壁面向內側逐漸縮徑的環狀的截頭圓錐內壁面、與該截頭圓錐內壁面連續且與所述基部的一方的面相連并且比圓筒內壁面的直徑小的圓筒內壁面，形成所述軸承體的環狀凹處的外側內周面包括外側圓筒內壁面，該外側圓筒內壁面具有形成所述環狀凹處的開口端的外緣的環狀的周緣，形成所述軸承體的環狀凹處的內側內周面具有內側圓筒內壁面，該內側圓筒內壁面具有形成所述環狀凹處的開口端的內緣的周緣，使外側圓筒內壁面與環狀突出部的外周面的圓筒外壁面嵌合，使內側圓筒內壁面與環狀突出部的內周面的圓筒內壁面嵌合，并且使形成所述環狀凹處的開口端的外緣的外側圓筒內壁面的環狀的周緣與環狀突出部的外周面的截頭圓錐外壁面接觸，使形成所述環狀凹處的開口端的內緣的內側圓筒內壁面的環狀的周緣與環狀突出部的內周面的截頭圓錐內壁面接觸，在與所述環狀突出部接觸的部位，利用超聲波焊接使所述軸承體焊接接合于該環狀突出部而與軸承基體形成為一體。

6.如權利要求5所述的靜壓氣體軸承，其特征在于，

空氣室包括空腔，該空腔由所述基部的一方的面、與該基部的一方的面面對的軸承體的一方的面、所述軸承基體的環狀突出部的內周面的截頭圓錐內壁面及小徑的圓筒內壁面形成，且利用軸承基體及軸承體的協同作用來形成該空腔。