[發(fā)明專利]檢查設(shè)備和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380019174.6
• 申請日: 2013-01-31
• 公開（公告）號: CN104220932B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·登博夫
• 申請（專利權(quán)）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G01N21/956
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所11256
• 代理人: 王茂華

1.一種檢查設(shè)備，包括光譜散射儀，所述光譜散射儀具有：

照射光學器件，用于將具有入射角的寬帶輻射引導(dǎo)在目標結(jié)構(gòu)上的光斑處，所使用的所述目標結(jié)構(gòu)包括周期性光柵；

零階檢測光學器件，用于接收從所述目標反射的輻射，以及用于形成并且檢測反射輻射的光譜；以及

高階檢測光學器件，用于接收由所述目標結(jié)構(gòu)中的所述周期性光柵以一個或多個高階衍射的輻射，以及用于形成并且檢測所接收的衍射輻射的光譜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其中，所述高階檢測光學器件包括：

-聚焦裝置，用于將從所述光斑發(fā)出的高階衍射輻射聚焦為包括所有輻射波長的圖像光斑，

-至少一個高階光譜檢測器，被定位到所述圖像光斑的至少一側(cè)，以及

-衍射光柵，被定位在所述光斑與所述圖像光斑之間的光程中，以便于在所述高階光譜檢測器上形成所述高階衍射輻射的光譜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查設(shè)備，其中，所述衍射光柵是對稱的以便于形成所述高階衍射輻射的對稱光譜對，并且提供成對的光譜檢測器以便于捕獲所述光譜對中的兩個光譜，所述設(shè)備進一步包括用于組合來自兩個檢測器的測量以獲得單個檢測光譜的處理器。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的檢查設(shè)備，其中，所述照射光學器件和所述零階檢測光學器件處理總體上在垂直于所述目標結(jié)構(gòu)的平面的第一平面中的輻射，而所述高階檢測光學器件被布置為處理在相對于所述第一平面成角度的第二平面中的輻射，作為所述目標結(jié)構(gòu)中的所述周期性光柵的線條相對于所述第一平面傾斜定向的結(jié)果，在所述設(shè)備的使用期間所述高階衍射輻射進入所述第二平面。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項所述的檢查設(shè)備，被布置用于采用波長短于400nm的輻射進行操作，其中，所述照射光學器件包括用于將所述輻射聚焦為所述目標結(jié)構(gòu)上的光斑的一個或多個曲面反射鏡，而所述零階檢測光學器件和所述高階檢測光學器件各自包括用于將所述光斑的圖像聚焦在光譜檢測器一側(cè)的點處的一個或多個曲面反射鏡。

6.一種檢查設(shè)備，包括光譜散射儀，所述光譜散射儀具有：

照射光學器件，用于將具有入射角的寬帶輻射引導(dǎo)在目標結(jié)構(gòu)上的光斑處；

檢測光學器件，用于接收從所述目標結(jié)構(gòu)以零階或高階衍射的輻射，以及用于形成并且檢測衍射輻射的光譜，

其中，所述檢測光學器件包括被布置為形成反射輻射的對稱光譜對的對稱衍射光柵，以及其中成對的光譜檢測器被布置為檢測兩個所述光譜，所述設(shè)備進一步包括用于組合來自兩個檢測器的測量以獲得所述反射輻射的單個檢測光譜的處理器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢查設(shè)備，其中，另一檢測器被布置為接收所述光柵的零階束，所述另一檢測器位于總體上在所述成對的光譜檢測器之間的點處，以及其中來自所述另一檢測器的信號用于監(jiān)控所述目標結(jié)構(gòu)上的所述光斑的焦點。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的檢查設(shè)備，包括被布置用于同時測量相同目標結(jié)構(gòu)的總體上類似形式的第一光譜散射儀和第二光譜散射儀，其中每個散射儀的照射光學器件和檢測光學器件被布置為處理總體上在垂直于所述目標結(jié)構(gòu)的平面的第一平面中的輻射，以及其中所述第二散射儀的第一平面與所述第一散射儀的第一平面成角度布置。

9.根據(jù)權(quán)利要求6至8任一項所述的檢查設(shè)備，其中，所述檢測光學器件被布置為捕獲零階衍射輻射，所述零階衍射輻射為從所述目標結(jié)構(gòu)反射的輻射，所述檢測光學器件包括在所述相位光柵之前、在所述反射輻射的光程中的分析偏振器，所述分析偏振器包括被布置為在不同方向上傳輸尋常光線和非尋常光線以由此僅選擇一個偏振以用于形成所述光譜的羅森棱鏡，以及其中所述相位光柵具有相對于所選擇的偏振以傾斜角定向的線條，由此不同偏振的輻射將使其光譜由在遠離所述成對的光譜檢測器的位置處的所述相位光柵而形成。

10.根據(jù)權(quán)利要求6至9任一項所述的檢查設(shè)備，其中，所述檢測光學器件包括用于將從所述光斑發(fā)出的衍射輻射聚焦為在總體上位于所述光譜檢測器之間的位置處的圖像光斑的聚焦裝置，所述衍射光柵被定位在所述光斑與所述圖像光斑之間的所述聚焦裝置的光程中，以便于在所述光譜檢測器上形成所述衍射輻射的光譜。