[發明專利]輸送系統

有效

• 申請號: 201380016960.0
• 申請日: 2013-03-07
• 公開（公告）號: CN104245541A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 山本真
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04;B65G1/00;B65G35/08;B65G49/07;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

技術領域

本發明涉及輸送系統。

背景技術

作為以往的輸送系統，例如已知有專利文獻1所記載的輸送系統。在專利文獻1所記載的輸送系統中，具備：輸送車，輸送安裝有ID標簽的盒，并且在輸送車上搭載有識別ID標簽的ID閱讀器；以及載置盒的工位，通過安裝于盒的ID標簽來管理盒的輸送。

專利文獻1:日本特開2002－179203號公報

從輸送的準確性以及效率的觀點來看，如在上述專利文獻1中記載的輸送系統那樣，通過ID標簽來管理盒是有效的。這里，近年，在半導體器件的制造中處理的高速化被不斷推進，要求半導體制造裝置中的生產節拍時間的縮短，但與此同時也要求工序間的半導體晶片的輸送時間的進一步的改善。并且，隨著近年的半導體晶片的大型化，作為收納晶片的容器的FOUP(Front?Opening?Unified?Pod(前開式晶圓盒)，盒)也大型化。因此，在半導體制造工廠中，比以往更需要收納FOUP的空間，但在有限的空間內確保收納FOUP的空間并不容易。

發明內容

本發明的目的在于提供一種能夠確保被輸送物的收納空間，并能夠準確且高效地輸送被輸送物的輸送系統。

本發明的一個側面所涉及的輸送系統是輸送附有能夠唯一地識別的識別信息的被輸送物的輸送系統，具備：收納架，設置于半導體制造裝置的附近，收納架收納被輸送物；堆垛起重機，向收納架搬入被輸送物，并且從收納架搬出被輸送物；頂棚輸送車，沿設置于頂棚部的軌道行駛，并使把持被輸送物的夾具升降來輸送被輸送物；識別信息獲取單元，設置于堆垛起重機，識別信息獲取單元獲取附于被輸送物的識別信息；以及控制單元，在通過識別信息獲取單元獲取的識別信息和被輸送物的輸送指令所包含的識別信息一致的情況下，以將被輸送物輸送至輸送指令中的輸送目的地的方式來控制堆垛起重機，收納架的至少一部分能夠進行通過頂棚輸送車的夾具進行的被輸送物的取放。

在該輸送系統中，在半導體制造裝置的附近設置有收納被輸送物的收納架。由此，能夠確保收納被輸送物的空間。并且，由于在輸送系統中，將收納架配置于半導體制造裝置的附近，所以能夠迅速地進行在收納架和裝載端口之間的被輸送物的移載。另外，在輸送系統中，收納架的至少一部分能夠進行通過頂棚輸送車的夾具進行的被輸送物的取放。像這樣，在輸送系統中，通過成為頂棚輸送車能夠向收納架存取的結構，能夠使收納架作為用于在堆垛起重機和頂棚輸送車之間交換被輸送物的端口發揮作用。由此，在輸送系統中，能夠高效地實施被輸送物的輸送。并且，在輸送系統中，在附于被輸送物的識別信息和輸送指令所包含的識別信息一致的情況下，以將被輸送物輸送至輸送指令中的輸送目的地的方式來控制堆垛起重機。由此，在輸送系統中，能夠將被輸送物準確地輸送至特定的輸送目的地。如上所述，在輸送系統中，能夠確保被輸送物的收納空間，并能夠準確且高效地輸送被輸送物。

在一實施方式中，在半導體制造裝置的裝載端口中，也可以進行通過堆垛起重機以及頂棚輸送車進行的被輸送物的搬入以及搬出。由此，在輸送系統中，能夠通過頂棚輸送車直接地向裝載端口搬入以及搬出被輸送物。因此，在輸送系統中，實現了為了將被輸送物交接給堆垛起重機而臨時保管被輸送物的時間的縮短，并且，也能夠縮短通過堆垛起重機進行移載的時間，所以能夠迅速地輸送被輸送物。另外，在輸送系統中，也能夠實現被輸送物的移載的自由度的提高。因此，在輸送系統中，能夠實現被輸送物的輸送效率的進一步的提高。

根據本發明，能夠確保被輸送物的收納空間，并能夠準確且高效地輸送被輸送物。

附圖說明

圖1是從上方觀察一實施方式所涉及的輸送系統的圖。

圖2是表示圖1所示的輸送系統的立體圖。

圖3是表示輸送系統的系統結構的框圖。

圖4是表示輸送系統的動作的流程圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對優選的實施方式進行詳細說明。應予說明，在附圖的說明中，對相同或者相應部件標注相同符號，并省略重復的說明。

圖1是從上方觀察一實施方式所涉及的輸送系統的圖。圖2是表示圖1所示的輸送系統的立體圖。圖3是表示輸送系統的系統結構的框圖。