[發(fā)明專利]用于輻照襯底的設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380016519.2
• 申請日: 2013-01-18
• 公開（公告）號: CN104350589B
• 公開（公告）日: 2017-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S.利諾夫;L.馮里韋爾
• 申請（專利權(quán)）人: 賀利氏特種光源有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 盧江,劉春元

1.一種用于輻照襯底的設(shè)備，具有：帶有圓形輻照面的用于待輻照的襯底的容納部；第一光輻射器，具有至少一個布置在平行于所述輻照面走向的照明平面中的輻射器管，所述輻射器管具有帶有一個中部區(qū)段和兩個端部區(qū)段的照明長度，其中所述中部區(qū)段的長度總計為所述照明長度的至少50%，并且其中所述容納部和所述光輻射器能夠相對于彼此移動，其特征在于，所述輻射器管的照明長度在小于2π弧度的弧角之上延伸，以及所述輻射器管在所述中部區(qū)段中具有從一個端部區(qū)域到另一個端部區(qū)域連續(xù)減小的彎曲。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述輻射器管在所述中部區(qū)段中具有算術(shù)螺旋的彎曲。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述圓形輻照面具有中心，該中心確定平面極坐標系的極點，該極坐標系包括同心圓形式的用于描述角度的坐標線和用于描述所述極坐標系中的坐標的半徑r的射線軸，并且所述輻射器管在所述中部區(qū)段中的彎曲通過坐標來描述，所述坐標滿足如下數(shù)學函數(shù)：

r=k*并且<2π弧度，

其中k是恒定因子。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述圓形輻照面具有中心，該中心確定平面極坐標系的極點，該極坐標系包括同心圓形式的用于描述角度的坐標線和用于描述所述極坐標系中的坐標的半徑r的射線軸，并且所述輻射器管在所述中部區(qū)段中具有第一部分長度，在所述第一部分長度中所述輻射器管的彎曲通過坐標來描述，所述坐標滿足如下數(shù)學函數(shù):

r=k₁*并且<2π弧度，

并且包括第二部分長度，在所述第二部分長度中所述輻射器管的彎曲通過坐標來描述，所述坐標滿足如下數(shù)學函數(shù)：

r=k₂*并且<2π弧度，

其中k₁≠k₂，以及k₁和k₂是恒定因子。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述輻射器管的彎曲通過穿過所述輻射器管的橫截面的中心走向的曲線來描述，其中該曲線在任何位置處與通過數(shù)學函數(shù)所描述的彎曲的偏差都不大于1mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，

其特征在于，所述曲線在任何位置處與通過數(shù)學函數(shù)所描述的彎曲的偏差都不大于0.3mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至2之一所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述輻射器管的照明長度在小于π弧度的弧角之上延伸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至2之一所述的設(shè)備，

其特征在于，

該設(shè)備僅僅包含唯一的彎曲的光輻射器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，

其特征在于，

該設(shè)備具有至少一個另外的光輻射器，所述至少一個另外的光輻射器具有在平行于輻照面走向的照明平面中彎曲的輻射器管，所述輻射器管包括照明長度，所述照明長度具有一個中部區(qū)段和兩個端部區(qū)段，其中所述中部區(qū)段的長度總計為所述照明長度的至少50%。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述中部區(qū)段的長度總計為所述照明長度的至少90%。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述第一光輻射器輻照在徑向方向上來看內(nèi)部的輻照面并且所述至少一個另外的光輻射器輻照在徑向方向上來看外部的輻照面，其中內(nèi)部的和外部的輻照面至少部分地重疊。

12.根據(jù)權(quán)利要求9至11之一所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述輻照面具有中心并且徑向上向外走向的射線軸從中心出發(fā)，所述射線軸與第一輻射器和至少一個另外的輻射器相交。

13.根據(jù)權(quán)利要求9至11之一所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述光輻射器總體上以螺旋的形式來布置。

14.根據(jù)權(quán)利要求1至2之一所述的設(shè)備，

其特征在于，

所述端部區(qū)段也具有算術(shù)螺旋的彎曲。