[發明專利]被研磨物保持件以及用于被研磨物保持件的層疊板

無效

• 申請號: 201380016325.2
• 申請日: 2013-03-21
• 公開（公告）號: CN104245231A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發明（設計）人: 武谷光男;丸山豐太郎
• 申請（專利權）人: 住友電木株式會社
• 主分類號: B24B37/28
• 分類號: B24B37/28;H01L21/304
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;舒艷君

1.一種被研磨物保持件，在最外層具有第一樹脂層，該第一樹脂層通過在第一纖維基材浸漬第一樹脂組成物并對其加熱加壓而構成，

所述被研磨物保持件的特征在于，

所述第一纖維基材為玻璃纖維基材，

在除了所述第一纖維基材之外的所述第一樹脂層中，以50質量％以上的比例包含來自于具有酚醛清漆骨架的樹脂的構造。

2.根據權利要求1所述的被研磨物保持件，其特征在于，

在所述第一樹脂層中，以25質量％以上、且60質量％以下的比例包含所述第一纖維基材。

3.根據權利要求1或2所述的被研磨物保持件，其特征在于，

所述第一纖維基材為單位面積質量在30g/m²以上、且150g/m²以下的玻璃纖維織物。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于，

所述第一樹脂組成物包含選自酚醛清漆型環氧樹脂以及酚醛清漆型苯酚樹脂中的一種以上的樹脂。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于，

對于所述第一樹脂組成物而言，在100質量份的所述組成物中以40質量份以上、且80質量份以下的比例包含酚醛清漆型環氧樹脂。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于，

對于所述第一樹脂組成物而言，在100質量份的所述組成物中以20質量份以上、且40質量份以下的比例包含酚醛清漆型苯酚樹脂。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于，

對于所述第一樹脂組成物而言，在100質量份的所述組成物中以5質量份以上、且40質量份以下的比例還包含雙酚A型環氧樹脂。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的被研磨物保持件，其特征在于，

在內層具有一層或者兩層以上的第二樹脂層，該第二樹脂層通過在第二纖維基材浸漬第二樹脂組成物并對其加熱加壓而構成，所述第二纖維基材為玻璃纖維基材。

9.根據權利要求8所述的被研磨物保持件，其特征在于，

所述第二纖維基材為單位面積質量在100g/m²以上、且220g/m²以下的玻璃纖維織物。

10.一種層疊板，其特征在于，

使用在權利要求1～9中任一項所述的被研磨物保持件。