[發(fā)明專利]具有激光熔焊的光學(xué)組件的激光諧振器裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380015673.8
• 申請日: 2013-03-13
• 公開（公告）號: CN104205526A
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D·克魯澤;C·焦萊克;S·馬爾策內(nèi)爾;H·齊莫爾
• 申請（專利權(quán)）人: 通快激光標記系統(tǒng)公司
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02;B23K26/324
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種激光諧振器裝置(2)，其具有多個光學(xué)組件(5，6，7，8，11)以及具有由玻璃、尤其石英玻璃、由玻璃陶瓷或由結(jié)晶陶瓷構(gòu)成的載體板(13)，所述光學(xué)組件(5，6，7，8，11)中的至少一個固定在所述載體板上，其中，至少一個固定在所述載體板(13)上的光學(xué)組件(5，6，7，8，11)由玻璃、尤其石英玻璃、由玻璃陶瓷或由結(jié)晶陶瓷構(gòu)成并且與所述載體板(13)或者直接通過至少一個激光熔焊連接(14)材料鎖合地連接或者借助于由玻璃——尤其石英玻璃、由玻璃陶瓷或由結(jié)晶陶瓷構(gòu)成的中間元件(30)固定，所述中間元件分別通過至少一個激光熔焊連接(14₁，14₂)不僅與至少一個光學(xué)組件(5，6，7，8，11)而且與所述載體板(13)材料鎖合地連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所述至少一個固定在所述載體板(13)上的光學(xué)組件是諧振器鏡(5，6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所述至少一個固定在所述載體板(13)上的光學(xué)組件是固體激光介質(zhì)(7)。

4.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所述至少一個固定在所述載體板(13)上的光學(xué)組件是光學(xué)調(diào)制器(8)。

5.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所述至少一個固定在所述載體板(13)上的光學(xué)組件是設(shè)置用于耦合輸入泵光(10)的耦合輸入光學(xué)器件(11)、尤其梯度折射率透鏡。

6.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所有光學(xué)組件(5，6，7，8，11)由玻璃——尤其石英玻璃、由玻璃陶瓷或由結(jié)晶陶瓷構(gòu)成并且通過激光熔焊連接(14)與所述載體板(13)或中間元件(30)材料鎖合地連接。

7.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，材料鎖合地與所述載體板(13)或所述中間元件(30)連接的光學(xué)組件(5，6，7，8，11)中的一個或多個由具有與所述載體板(13)或所述中間元件(30)相同或近似相同的熱膨脹系數(shù)的材料構(gòu)成。

8.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，一個激光熔焊連接(14；14₁，14₂)通過沿著設(shè)置在所述載體板(13)或所述中間元件(30)上的光學(xué)組件(5，6，7，8，11)的接合輪廓延伸的至少一個激光焊縫構(gòu)成。

9.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所述激光熔焊連接(14)的熔化深度在所述載體板(13)中以及在所述至少一個與其材料鎖合地連接的光學(xué)組件(5，6，7，8，11)中最高是約500微米、優(yōu)選在10微米和30微米之間。

10.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所述載體板(13)、所述中間元件(30)和/或所述與其材料鎖合地連接的光學(xué)組件(5，6，7，8，11)如此以外來原子摻雜，使得產(chǎn)生用于所述激光束熔焊的激光束的對于所述激光熔焊連接(14；14₁，14₂)最優(yōu)的侵入深度。

11.根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述的激光諧振器裝置，其特征在于，所述光學(xué)組件(5，6，7，8，11)中的至少一個、優(yōu)選所述激光介質(zhì)(7)或所述光學(xué)調(diào)制器(8)在所述載體板(13)旁與至少一個另外的表面熱接觸，通過所述至少一個另外的表面所述光學(xué)組件被冷卻。

12.一種用于制造根據(jù)以上權(quán)利要求中任一項所述激光諧振器裝置(2)的方法，其特征在于，將待固定在所述載體板(13)上的光學(xué)組件(5，6，7，8，11)在所述載體板(13)或與其激光熔焊的中間元件(30)上定位以及隨后借助于激光束(20)、尤其CO₂激光束將所述光學(xué)組件與所述載體板(13)或所述中間元件(30)材料鎖合地焊接。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，將待固定在所述載體板(13)上的光學(xué)組件(5，6，7，8，11)沿著其邊緣側(cè)的接合輪廓借助于所述激光束(20)材料鎖合地與所述載體板(13)或與所述中間元件(30)焊接。