[發(fā)明專利]生物氣中硅氧烷的測量方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380014836.0
• 申請日: 2013-01-17
• 公開（公告）號: CN104204776B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發(fā)明（設計）人: 查爾斯·馬克·菲利普斯;芭芭拉·馬世科古茨;萊昂納德·I·卡列特;馬丁·L·斯帕茲;韋迪·薩塔日
• 申請（專利權）人: MKS儀器有限公司
• 主分類號: G01N21/3504
• 分類號: G01N21/3504;G01N21/03
• 代理公司: 上海和躍知識產權代理事務所(普通合伙)31239
• 代理人: 胡艷

1.一種對存在于生物氣體的一或多種含硅化合物進行監(jiān)測的方法，所述方法包括：

向樣品池提供非吸收氣體，所述非吸收氣體在規(guī)定的目標波長范圍內基本無紅外吸收；

從所述樣品池測得第一光譜測量值；

向所述樣品池提供生物氣體；

從所述樣品池測得第二光譜測量值；

根據所述第一光譜測量值與所述第二光譜測量值之比生成第一吸收光譜；

基于至少從濃度已知的已知含硅化合物的較大集合中選出的一或多種含硅化合物的子集中各含硅化合物的個體吸收光譜，生成至少一個替代吸收光譜；并且

根據所述第一吸收光譜和所述至少一個替代吸收光譜計算所述生物氣體中一或多種含硅化合物的總濃度。

2.如權利要求1所述的方法，其中所述生物氣體中的一或多種含硅化合物包括至少一種硅氧烷。

3.如權利要求1所述的方法，其中所述已知含硅化合物的較大集合包括至少一種硅氧烷。

4.如權利要求1所述的方法，其中所述一或多種含硅化合物的子集包括至少一種硅氧烷。

5.如權利要求1所述的方法，其中所述總濃度包括所述生物氣體中的硅氧烷總濃度、所述生物氣體中的其他含硅化合物的總濃度、或所述生物氣體中的所有含硅化合物的總濃度中的一個。

6.如權利要求1所述的方法，還包括對所述總濃度施加修正因子，其中所述修正因子使得所述總濃度等比例變化。

7.如權利要求1所述的方法，還包括根據所述已知含硅化合物與所述生物氣體中存在的一或多種含硅化合物的光譜匹配選擇所述一或多種含硅化合物的子集。

8.如權利要求1所述的方法，其中所述已知含硅化合物的較大集合包括D3-硅氧烷、D4-硅氧烷、D5-硅氧烷、D6-硅氧烷、L2-硅氧烷、L3-硅氧烷、L4-硅氧烷、及L5-硅氧烷。

9.如權利要求1所述的方法，其中所述一或多種含硅化合物的子集包括從所述已知含硅化合物的較大集合和三甲基硅烷(TMS)的含硅成分中選出的3～5種硅氧烷化合物。

10.如權利要求1所述的方法，其中所述生物氣體包括填埋氣體。

11.如權利要求10所述的方法，其中所述一或多種含硅化合物的子集包括a)L2-硅氧烷、L3-硅氧烷、D4-硅氧烷；b)L2-硅氧烷、D3-硅氧烷、D4-硅氧烷；或c)L2-硅氧烷、D3-硅氧烷、及D5-硅氧烷之一。

12.如權利要求11所述的方法，其中所述一或多種含硅化合物的子集還包括三甲基硅烷(TMS)的含硅成分。

13.如權利要求1所述的方法，其中所述生物氣體包括沼氣。

14.如權利要求13所述的方法，其中所述一或多種含硅化合物的子集包括a)D3-硅氧烷、D5-硅氧烷和L3-硅氧烷；b)D4-硅氧烷、D5-硅氧烷、L3-硅氧烷；或c)D3-硅氧烷、D5-硅氧烷、及L2-硅氧烷之一。

15.如權利要求1所述的方法，其中所述至少一個替代吸收光譜還包括從濃度已知的已知碳氫化合物的較大集合中選出的一或多種碳氫化合物的子集中各含碳氫合物的個體吸收光譜。

16.如權利要求15所述的方法，其中所述生物氣體包括沼氣，并且所述已知碳氫化合物的較大集合包括乙烷、丙烷及丁烷。

17.如權利要求15所述的方法，其中所述生物氣體包括填埋氣體，并且所述已知碳氫化合物的較大集合包括甲苯、甲醇及乙醇。

18.如權利要求15所述的方法，其中所述至少一個替代吸收光譜為，基于至少所述一或多種含硅化合物的子集中的各個含硅化合物的所述個體吸收光譜和所述一或多種碳氫化合物的子集中的各個碳氫化合物的所述個體吸收光譜的，模型。

19.如權利要求1所述的方法，其中所述生物氣體中存在所述一或多種含硅化合物的子集中的至少一種含硅化合物。

20.如權利要求1所述的方法，其中所述生物氣體中不存在所述一或多種含硅化合物的子集中的至少一種含硅化合物。

21.如權利要求1所述的方法，其中所述計算包括：使用處理器利用所述第一吸收光譜和所述至少一個替代吸收光譜進行多元回歸分析。