[發明專利]傳輸溫度測定中的激光噪聲消除

有效

• 申請號: 201380014791.7
• 申請日: 2013-03-08
• 公開（公告）號: CN104185778B
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 季平·李;阿倫·繆爾·亨特;托馬斯·霍
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G01J5/02
• 分類號: G01J5/02;H01L21/324
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種用于測量輻射穿過基板的傳輸的裝置，包括：

相干輻射的源；

用于所述相干輻射的檢測器；

基板支撐件，所述基板支撐件在所述源與所述檢測器之間；以及

寬帶放大器，所述寬帶放大器設置在所述源與所述檢測器之間的光路中，其中離開所述寬帶放大器的輻射在到達所述檢測器之前經過所述基板支撐件。

2.如權利要求1所述的裝置，其中所述寬帶放大器是寬帶發射激光的介質。

3.如權利要求2所述的裝置，其中所述寬帶放大器是光纖布拉格光柵。

4.如權利要求3所述的裝置，其中所述源是激光器，所述激光器以第一波長發出輻射；且所述光纖布拉格光柵以第二波長發出輻射；且所述第一波長與所述第二波長之間的差在5nm與20nm之間。

5.如權利要求4所述的裝置，其中所述激光器通過成角耦合光學地耦合至所述光纖布拉格光柵。

6.如權利要求1所述的裝置，其中所述源以處于第一模態的波長分布發出輻射，且所述寬帶放大器以處于第二模態的波長分布發出輻射，且所述第一模態與所述第二模態之間的波長差在5nm與20nm之間。

7.如權利要求1所述的裝置，其中所述源以處于第一模態的波長分布發出輻射，且所述寬帶放大器以處于第二模態的波長分布發出輻射，且所述第一模態在所述寬帶放大器的增益光譜內。

8.如權利要求1所述的裝置，其中所述寬帶放大器選自由激光器、光纖激光器、布拉格光柵、光纖布拉格光柵、拉曼放大器、布里淵放大器以及標準具組成的群組。

9.如權利要求6或8所述的裝置，其中所述相干輻射源是能調的光纖耦合激光二極管，且所述寬帶放大器是光纖布拉格光柵，且使用成角拋光連接耦合所述能調的光纖耦合激光二極管與所述光纖布拉格光柵。

10.如權利要求9所述的裝置，所述裝置進一步包含分光器，所述分光器在所述光纖布拉格光柵與所述檢測器之間。

11.一種用于熱處理基板的裝置，包括：

外殼；

設置在所述外殼內的熱源；

鄰近所述熱源的基板支撐件；

相干輻射源；

解相關器，所述解相關器沿著所述解相關器與所述相干輻射源之間的光路光學地耦合至所述相干輻射源，其中所述解相關器是具有增益光譜的寬帶放大器，所述增益光譜包含由所述相干輻射源發出的輻射的頻率；以及

檢測器，所述檢測器沿著所述檢測器與所述解相關器之間的光路光學地耦合至所述解相關器，且所述檢測器被放置以使得離開所述解相關器的輻射在到達所述檢測器之前經過所述基板支撐件。

12.如權利要求11所述的裝置，其中所述相干輻射源有具有第一主要波長的發射光譜，所述寬帶放大器有具有第二主要波長的發射光譜，且所述第一主要波長與所述第二主要波長之間的差在5nm與20nm之間。

13.如權利要求11所述的裝置，其中所述相干輻射源是具有大于950nm的主要波長的二極管激光器。

14.如權利要求11所述的裝置，其中所述相干輻射源與所述解相關器通過抗反射光學耦合耦合在一起。

15.如權利要求11所述的裝置，其中所述寬帶放大器選自由激光器、光纖激光器、布拉格光柵、光纖布拉格光柵、拉曼放大器、布里淵放大器以及標準具組成的群組。

16.如權利要求15所述的裝置，其中所述相干輻射源是能調的光纖耦合激光二極管，且所述寬帶放大器是光纖布拉格光柵，且使用成角拋光連接耦合所述能調的光纖耦合激光二極管與所述光纖布拉格光柵。

17.如權利要求16所述的裝置，所述裝置進一步包含分光器，所述分光器在所述光纖布拉格光柵與所述檢測器之間。