[發明專利]在柔性襯底上形成光伏電池的系統

有效

• 申請號: 201380013651.8
• 申請日: 2013-01-18
• 公開（公告）號: CN104169459B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發明（設計）人: B·D·哈克特曼;J·博尼古特;錢清;D·R·霍拉斯;劉曉東
• 申請（專利權）人: 納沃薩恩公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;H01L31/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 吳亦華

1.用于在柔性襯底上沉積薄膜光伏電池的沉積系統，所述沉積系統包括：

a)罩殼，所述罩殼包含與所述罩殼外部的環境流體地隔離的流體空間；

b)在所述流體空間中的多個沉積室，其中所述多個沉積室中的至少一個沉積室包含磁控濺射裝置，其將一種或多種靶材的物質流引向所述柔性襯底的布置在所述多個沉積室的所述至少一個沉積室中的部分上；

c)在所述罩殼中的襯底釋放輥和襯底卷取輥，其中所述襯底釋放輥提供的柔性襯底被引導通過所述多個沉積室的每一個到達所述襯底卷取輥；和

d)在所述罩殼中的至少一個導輥，其中所述導輥被配置成將所述柔性襯底引向或引出所述多個沉積室中的給定沉積室。

2.權利要求1的沉積系統，其中所述至少一個導輥布置在所述多個沉積室的第一沉積室和第二沉積室之間。

3.權利要求1的沉積系統，其中所述至少一個導輥與所述第一和第二沉積室流體地隔離。

4.權利要求1的沉積系統，其中所述罩殼具有圓形橫截面。

5.權利要求1的沉積系統，其中所述柔性襯底是不銹鋼襯底。

6.權利要求1的沉積系統，所述多個室中的單個室包含允許所述柔性襯底進入所述單個室的第一開口和允許所述柔性襯底離開所述單個室的第二開口。

7.權利要求6的沉積系統，其還包含與所述第一開口相鄰的第一輥和與所述第二開口相鄰的第二輥，其中所述第一輥被配置成將所述柔性襯底引入所述單個室中和所述第二輥被配置成將所述單個襯底引出所述單個室。

8.權利要求1的沉積系統，其中所述至少一個沉積室包含多個沉積室，在所述多個沉積室當中，每個沉積室包含至少一個磁控濺射裝置。

9.權利要求8的沉積系統，其中在所述多個沉積室的單個沉積室中布置單個磁控濺射裝置。

10.權利要求1的沉積系統，其中所述至少一個沉積室包含多個磁控濺射組合件。

11.權利要求10的沉積系統，其中所述一種或多種靶材的物質流包括包含銅和銦的物質流。

12.權利要求11的沉積系統，其中所述一種或多種靶材的物質流還包括包含鎵的物質流。

13.權利要求11的沉積系統，其中所述至少一個沉積室向所述柔性襯底的布置在所述至少一個沉積室中的所述部分提供硒的物質流。

14.權利要求1的沉積系統，其中所述至少一個沉積室包含磁控濺射裝置，所述磁控濺射裝置包含：

與平面磁控管相鄰的可旋轉磁控管；和

一個或多個在所述可旋轉磁控管和所述平面磁控管之間形成子腔室的屏，

其中所述平面磁控管被配置成包含具有第一材料的液體靶材并向所述可旋轉磁控管提供具有所述第一材料的物質流，和

其中所述可旋轉磁控管被配置成相對于所述平面磁控管旋轉具有第二材料的固體靶材，并向所述柔性襯底提供具有所述第一和第二材料的物質流。

15.權利要求14的沉積系統，其中所述第一材料具有第一熔點，其比所述第二材料的第二熔點低。

16.權利要求14的沉積系統，其中所述第一材料是鎵而所述第二材料是銦。

17.權利要求14的沉積系統，其中所述可旋轉磁控管的形狀是至少部分圓柱形的。

18.權利要求14的沉積系統，其中所述平面磁控管包含與磁控管主體相鄰的背板，并且其中所述磁控管主體包括一個或多個磁體和所述背板適合于保持所述液體靶材。

19.權利要求14的沉積系統，其中所述可旋轉磁控管包含適合于相對于所述平面磁控管旋轉所述固體靶材的支撐構件。

20.權利要求14的沉積系統，其中所述平面磁控管適合于包含具有第三材料的另一種液體。

21.權利要求14的沉積系統，其中所述平面磁控管被配置成在所述室中提供所述第一材料的流。

22.權利要求14的沉積系統，其還包含與所述平面磁控管相鄰的另一個平面磁控管，其中所述另一個平面磁控管配置成在所述室中提供第三材料的流。