[發明專利]用于借助于拋光工具對光學表面進行拋光的方法

有效

• 申請號: 201380013371.7
• 申請日: 2013-03-06
• 公開（公告）號: CN104159708A
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 阿蘭·巴塔德;埃里克·加庫因;喬納森·索爾尼;金·斯泰凡
• 申請（專利權）人: 依視路國際集團(光學總公司)
• 主分類號: B24B13/06
• 分類號: B24B13/06
• 代理公司: 上海天協和誠知識產權代理事務所 31216
• 代理人: 張恒康

1.用于借助于拋光工具對光學表面進行拋光的方法，該拋光方法包括：

●一個接納一個表面的步驟，在該步驟期間接納一個待拋光的光學表面，

●一個配置步驟，在該配置步驟期間對包括一個拋光工具的拋光機進行配置，

●一個拋光步驟，在該拋光步驟期間將該光學表面借助于在該配置步驟期間配置的該拋光機進行拋光，

其中：

●在該配置步驟期間，對該拋光機進行配置，其方式為使得：

■銷的傾斜角(α)是大于或等于2°并且小于或等于20°，

■內尖點是大于或等于-10mm并且小于或等于10mm，

■外尖點是大于或等于R-15mm并且小于或等于R-5mm，其中R是外切于待拋光表面的這個圓的半直徑，以毫米表示；

■前進速度是大于或等于100mm/min并且小于或等于2000mm/min；

■該待拋光表面的旋轉速度是大于或等于500rpm并且小于或等于3000rpm；并且

■支承力是大于或等于50N并且小于或等于180N。

2.根據權利要求1所述的方法，其中該拋光步驟具有大于或等于20秒并且小于或等于130秒的持續時間。

3.根據權利要求1和2之一所述的方法，其中該拋光步驟具有與表面特性以及該待拋光的光學表面的材料無關的持續時間，所述拋光步驟的持續時間是大于或等于60秒并且小于或等于80秒。

4.根據以上權利要求中任何一項所述的方法，其中該拋光工具包括：

●一個剛性支撐件，該剛性支撐件具有一個橫向端表面并且屬于具有圍繞該支撐件的一個柔性凸緣的一個底座；

●一個彈性可壓縮界面，該彈性可壓縮界面抵靠著并且覆蓋了該柔性凸緣的、位于與所述端表面相同側上的端表面；

●一個柔性襯墊，該柔性襯墊被適配成用于抵靠該光學表面來施加并且是抵靠著且至少部分地覆蓋了與所述端表面相對且成直線的界面，該襯墊具有與所述端表面成直線定位的一個所謂的中心部分以及橫向超出該端表面定位的一個所謂的外圍部分；以及

●彈性返回裝置，該彈性返回裝置將外圍部分連接到該支撐件，

所述外圍部分與返回裝置的組合形成了一種用于在拋光期間穩定該工具的裝置。

5.根據以上權利要求中任何一項所述的方法，其中該銷的傾斜角是大于或等于5°并且小于或等于15°。

6.根據以上權利要求中任何一項所述的方法，其中該內尖點是非零的且大于或等于-5mm并且小于或等于5mm。

7.根據以上權利要求中任何一項所述的方法，其中該外尖點是大于或等于R-12mm并且小于或等于R-8mm。

8.根據以上權利要求中任何一項所述的方法，其中該前進速度是大于或等于500mm/min并且小于或等于1500mm/min。

9.根據以上權利要求中任何一項所述的方法，其中該旋轉速度是大于或等于900rpm并且小于或等于2100rpm。

10.根據以上權利要求中任何一項所述的方法，其中該支承力大于或等于80N并且小于或等于150N。

11.用于對光學表面進行表面修整的方法，該方法包括：

-一個數據接收步驟，在該數據接收步驟期間，接收限定了一個表面的光學特性的表面數據，

-一個對該光學表面進行機加工的步驟，在該機加工步驟期間，根據該表面數據對該光學表面進行機加工，

-一個拋光步驟，在該拋光步驟期間，將經機加工的表面借助于根據以上權利要求中任何一項所述的拋光方法進行拋光。

12.包括一系列指令的計算機程序產品，這些指令在加載到一個計算機中時導致所述計算機執行根據以上權利要求中任何一項所述的方法的這些步驟。

13.拋光機，被配置成用于執行根據權利要求1至10中任何一項所述的方法的這些步驟。