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[發(fā)明專利]用于除去嵌段共聚物中的金屬的方法和材料有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201380013072.3 申請(qǐng)日: 2013-02-22
公開(公告)號(hào): CN104159948A 公開(公告)日: 2014-11-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 殷建;吳恒鵬;洪圣恩;M·內(nèi)瑟;曹毅 申請(qǐng)(專利權(quán))人: AZ電子材料盧森堡有限公司
主分類號(hào): C08J3/00 分類號(hào): C08J3/00;B01D15/36;B01J45/00
代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038 代理人: 宓霞
地址: 盧森堡*** 國(guó)省代碼: 盧森堡;LU
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 用于 除去 共聚物 中的 金屬 方法 材料
【權(quán)利要求書】:

1.處理嵌段共聚物溶液的方法,包括:

a.提供包含在非水性溶劑中的嵌段共聚物的溶液;

b.將堿性離子交換樹脂添加到所述溶液中而形成漿料;和

c.將所述漿料過濾以除去離子交換樹脂。

2.權(quán)利要求1的方法,其中所述堿性離子交換樹脂具有選自凝膠型、大網(wǎng)孔或多孔的形態(tài);和其中作為處理所述嵌段共聚物溶液的結(jié)果,將選自鋁、鈣、鉻、銅、鐵、鎂、錳、鎳、鉀、鈉、鋅、錫、鎘、鈷、鍺、鉛、鋰、銀或鈦的一種或多種金屬離子污染物從它們的初始預(yù)處理值減少至少5%。

3.權(quán)利要求1的方法,其中所述溶液包含濃度為0.1重量%-20重量%的所述嵌段共聚物。

4.權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)的方法,還包括添加磺酸陽(yáng)離子交換樹脂以形成混合漿料,其中所述磺酸陽(yáng)離子交換樹脂優(yōu)選具有選自凝膠型、大網(wǎng)孔或多孔的形態(tài);和其中,作為處理結(jié)果,將選自鋁、鈣、鉻、銅、鐵、鎂、錳、鎳、鉀、鈉、鋅、錫、鎘、鈷、鍺、鉛、鋰、銀或鈦的一種或多種金屬離子污染物從它們的初始值減少至少5%。

5.權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)的方法,其中作為處理所述嵌段共聚物溶液的結(jié)果,百分率曝光寬容度增加了至少2個(gè)百分點(diǎn)。

6.權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)的方法,其中通過在與所述溶液接觸之前與有機(jī)溶劑接觸將所述堿性離子交換樹脂和/或磺酸陽(yáng)離子交換進(jìn)行脫水。

7.權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)的方法,其中所述嵌段共聚物選自聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸甲酯)、聚(苯乙烯-嵌段-乙烯基吡啶)、聚(苯乙烯-嵌段-聚乙二醇)、聚(苯乙烯-嵌段-二甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-乙基甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-丙交酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羥乙酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羥丙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸正丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸羥乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-甲基丙烯酸甲酯-共聚-甲基丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸1-乙氧基乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-ε-己內(nèi)酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-丙交酯)或聚(氧化丙烯-嵌段-苯乙烯-共聚-4-乙烯基吡啶)。

8.處理嵌段共聚物溶液的方法,包括

a.提供包含在非水性溶劑中的嵌段共聚物的溶液;

b.用堿性離子交換樹脂處理所述溶液。

9.權(quán)利要求8的方法,其中處理所述溶液包括讓所述溶液穿過包含堿性離子交換樹脂的床塔。

10.權(quán)利要求8或9的方法,其中處理所述溶液包括讓所述溶液穿過包含強(qiáng)酸陽(yáng)離子交換樹脂和游離堿叔胺離子交換樹脂的混合床塔,優(yōu)選形成包含所述溶液和包含所述強(qiáng)酸陽(yáng)離子交換樹脂和堿性離子交換樹脂的混合物的漿料;和其中所述方法優(yōu)選還包括將所述漿料過濾。

11.權(quán)利要求8-10中任一項(xiàng)的方法,其中所述嵌段共聚物選自聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸甲酯)、聚(苯乙烯-嵌段-乙烯基吡啶)、聚(苯乙烯-嵌段-聚乙二醇)、聚(苯乙烯-嵌段-二甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-乙基甲基硅氧烷)、聚(苯乙烯-嵌段-丙交酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羥乙酯)、聚(苯乙烯-嵌段-(甲基)丙烯酸2-羥丙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸正丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸羥乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-甲基丙烯酸甲酯-共聚-甲基丙烯酸叔丁酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-(甲基)丙烯酸1-乙氧基乙酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-ε-己內(nèi)酯)、聚(二甲基硅氧烷-嵌段-丙交酯)或聚(氧化丙烯-嵌段-苯乙烯-共聚-4-乙烯基吡啶)。

12.權(quán)利要求8-11中任一項(xiàng)的方法,其中所述堿性離子交換樹脂和/或磺酸陽(yáng)離子交換樹脂具有選自凝膠型、大網(wǎng)孔或多孔的形態(tài);和其中,作為處理所述嵌段共聚物溶液的結(jié)果,將選自鋁、鈣、鉻、銅、鐵、鎂、錳、鎳、鉀、鈉、鋅、錫、鎘、鈷、鍺、鉛、鋰、銀或鈦的一種或多種金屬離子污染物減少到它們的初始值的少于5%。

13.權(quán)利要求8-12中任一項(xiàng)的方法,其中作為處理所述嵌段共聚物溶液的結(jié)果,百分率曝光寬容度增加了至少2個(gè)百分點(diǎn)。

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