[發明專利]ESD保護器件及其制造方法

有效

• 申請號: 201380011765.9
• 申請日: 2013-02-23
• 公開（公告）號: CN104160567A
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 鷲見高弘;石川久美子;足立淳;筑澤孝之
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H01T1/20
• 分類號: H01T1/20;H01T2/02;H01T4/04;H01T4/10;H01T4/12;H05F3/02;H05F3/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 俞丹

1.一種ESD保護器件，其特征在于，包括：

第一及第二放電電極，該第一及第二放電電極配置成彼此相對；

放電輔助電極，該放電輔助電極形成為橫跨在所述第一及第二放電電極間；以及

絕緣體基材，該絕緣體基材對所述第一及第二放電電極和所述放電輔助電極進行保持，

所述放電輔助電極包含以第一金屬為主要成分的多個金屬粒子，

所述金屬粒子的分形維數D大于等于1.03。

2.如權利要求1所述的ESD保護器件，其特征在于，

所述放電輔助電極由具有核殼結構的多個核殼結構粒子的集合體構成，所述核殼結構將所述金屬粒子作為核部，并以包含第二金屬的金屬氧化物為主要成分來形成殼部。

3.如權利要求2所述的ESD保護器件，其特征在于，

所述第二金屬比所述第一金屬更容易發生氧化。

4.如權利要求3所述的ESD保護器件，其特征在于，

所述第一金屬是銅或以銅為主要成分的銅類合金。

5.如權利要求3或4所述的ESD保護器件，其特征在于，

包含所述第二金屬的所述金屬氧化物是氧化鋁。

6.如權利要求3至5的任一項所述的ESD保護器件，其特征在于，

所述核部包含所述第二金屬作為次要成分。

7.如權利要求1至6的任一項所述的ESD保護器件，其特征在于，

所述第一及第二放電電極及所述放電輔助電極配置于所述絕緣體基材的內部，所述絕緣體基材具有對所述第一及第二放電電極間的所述間隙進行配置的空洞，

所述ESD保護器件還包括第一及第二外部端子電極，該第一及第二外部端子電極形成在所述絕緣體基材的表面上，且分別與所述第一及第二放電電極進行電連接。

8.一種ESD保護器件的制造方法，其特征在于，包括：

準備合金粉末的工序，所述合金粉末由包含第一金屬、比所述第一金屬更容易發生氧化的第二金屬、以及熔點比所述第一金屬要低的雜質成分的合金構成；

準備絕緣體基材的工序；

在所述絕緣體基材上形成包含所述合金粉末的未燒成的放電輔助電極的工序；

在所述絕緣體基材的表面或內部形成第一及第二放電電極的工序，所述第一及第二放電電極以彼此相對的方式配置于所述放電輔助電極上；以及

將所述未燒成的放電輔助電極進行燒成的工序，

所述進行燒成的工序包括：

在具有第一金屬不發生氧化而第二金屬發生氧化的氧濃度的氣氛下進行熱處理的工序，從而在構成所述合金粉末的各粒子中，使所述第二金屬向該粒子的表面移動，在到達表面的時刻發生氧化，成為包含所述第二金屬的金屬氧化物，以該金屬氧化物形成殼部，并且，以所述第二金屬向所述粒子的表面移動而殘留下來的第一金屬為主要成分的金屬粒子形成為核部，由此獲得核殼結構粒子；以及

使得成為所述核殼結構粒子中的所述核部的所述金屬粒子發生變形，以使分形維數大于等于1.03的工序。

9.如權利要求8所述的ESD保護器件的制造方法，其特征在于，

準備所述合金粉末的工序包含使用噴霧法來制造所述合金粉末的工序。

10.如權利要求8或9所述的ESD保護器件的制造方法，其特征在于，

所述雜質成分是從鉍、磷及銀中選出的至少一種。