[發(fā)明專利]分光特性測(cè)量裝置以及分光特性測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201380011702.3
• 申請(qǐng)日: 2013-02-27
• 公開（公告）號(hào): CN104145177A
• 公開（公告）日: 2014-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石丸伊知郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國(guó)立大學(xué)法人香川大學(xué)
• 主分類號(hào): G01J3/453
• 分類號(hào): G01J3/453;G01N21/45;G01N21/49;A61B5/145;A61B5/1455
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種分光特性測(cè)量裝置，其特征在于，具備：

a)固定反射部和可動(dòng)反射部；

b)入射光學(xué)系統(tǒng)，其使從測(cè)量對(duì)象發(fā)出的測(cè)量光入射到上述固定反射部和上述可動(dòng)反射部；

c)成像光學(xué)系統(tǒng)，其形成被上述固定反射部反射的測(cè)量光與被上述可動(dòng)反射部反射的測(cè)量光的干渉光；

d)測(cè)量光檢測(cè)部，其檢測(cè)上述測(cè)量光的干渉光強(qiáng)度；

e)處理部，其基于通過(guò)使上述可動(dòng)反射部進(jìn)行移動(dòng)而獲得的上述測(cè)量光的干渉光強(qiáng)度變化來(lái)求出上述測(cè)量光的干涉圖；

f)參考光入射單元，其使作為上述測(cè)量光的波長(zhǎng)頻帶的一部分的窄頻帶的波長(zhǎng)的參考光通過(guò)上述入射光學(xué)系統(tǒng)入射到上述固定反射部和上述可動(dòng)反射部；

g)參考光檢測(cè)部，其檢測(cè)被上述固定反射部反射的參考光與被上述可動(dòng)反射部反射的參考光的由上述成像光學(xué)系統(tǒng)形成的干渉光強(qiáng)度；以及

h)運(yùn)算處理部，其基于通過(guò)使上述可動(dòng)反射部進(jìn)行移動(dòng)而由上述參考光檢測(cè)部檢測(cè)出的上述參考光的干渉光強(qiáng)度變化的振幅、以及上述測(cè)量光中的同上述參考光相同波長(zhǎng)的測(cè)量光與上述參考光的相位差，來(lái)校正上述測(cè)量光的干涉圖，基于校正后的干涉圖來(lái)求出上述測(cè)量光的光譜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光特性測(cè)量裝置，其特征在于，上述參考光入射單元包括：

光源；以及

反射型的衍射光柵，其使從該光源射出的光的一級(jí)衍射光作為參考光入射到上述入射光學(xué)系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分光特性測(cè)量裝置，其特征在于，

還具備由透光性構(gòu)件構(gòu)成的板狀的窗部，該窗部的兩個(gè)面中的一面是用于載置上述測(cè)量對(duì)象的載置面，另一面是光照射面，

上述衍射光柵被設(shè)置在上述光照射面的一部分區(qū)域，

上述光源對(duì)整個(gè)上述光照射面照射光，并且以使對(duì)該光照射面照射光時(shí)產(chǎn)生的鏡面反射光入射不到上述入射光學(xué)系統(tǒng)的角度來(lái)對(duì)該光照射面照射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分光特性測(cè)量裝置，其特征在于，上述參考光入射單元包括：

光源，其射出作為上述測(cè)量光的波長(zhǎng)頻帶的一部分的窄頻帶的光；以及

反射膜，其反射從上述光源射出的光并使該光入射到上述入射光學(xué)系統(tǒng)。

5.一種分光特性測(cè)量方法，其特征在于，包括以下步驟：

a)通過(guò)入射光學(xué)系統(tǒng)使從測(cè)量對(duì)象發(fā)出的測(cè)量光入射到固定反射部和可動(dòng)反射部；

b)形成被上述固定反射部反射的測(cè)量光與被上述可動(dòng)反射部反射的測(cè)量光的干渉光；

c)基于通過(guò)使上述可動(dòng)反射部進(jìn)行移動(dòng)而獲得的上述測(cè)量光的干渉光強(qiáng)度變化來(lái)求出上述測(cè)量光的干涉圖；

d)使作為上述測(cè)量光的波長(zhǎng)頻帶的一部分的窄頻帶的波長(zhǎng)的參考光通過(guò)上述入射光學(xué)系統(tǒng)入射到固定反射部和可動(dòng)反射部；

e)對(duì)被上述固定反射部反射的參考光與被上述可動(dòng)反射部反射的參考光的干渉光強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)；

f)基于通過(guò)使上述可動(dòng)反射部進(jìn)行移動(dòng)而獲得的參考光的干渉光強(qiáng)度變化的振幅、以及上述測(cè)量光中的同上述參考光相同波長(zhǎng)的測(cè)量光與上述參考光的相位差，來(lái)校正上述測(cè)量點(diǎn)的干涉圖，基于校正后的干涉圖來(lái)求出上述測(cè)量光的光譜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分光特性測(cè)量方法，其特征在于，

使通過(guò)對(duì)衍射光柵照射來(lái)自光源的光而在該衍射光柵產(chǎn)生的一級(jí)衍射光作為參考光入射到上述入射光學(xué)系統(tǒng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分光特性測(cè)量方法，其特征在于，

在窗部的光照射面的一部分區(qū)域設(shè)置上述衍射光柵，該窗部是由透光性構(gòu)件構(gòu)成的板狀的窗部，其兩個(gè)面中的一面是用于載置上述測(cè)量對(duì)象的載置面，另一面是光照射面，

上述光源對(duì)整個(gè)上述光照射面照射光，并且以使對(duì)該光照射面照射光時(shí)產(chǎn)生的鏡面反射光入射不到上述入射光學(xué)系統(tǒng)的角度來(lái)對(duì)該光照射面照射光。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分光特性測(cè)量方法，其特征在于，

從光源對(duì)反射膜照射作為上述測(cè)量光的波長(zhǎng)頻帶的一部分的窄頻帶的光，使被該反射膜反射的光作為參考光入射到上述入射光學(xué)系統(tǒng)。