[發(fā)明專利]在等離子體處理系統(tǒng)中同步RF脈沖的方法和裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380010617.5 | 申請日： | 2013-02-07 |
| 公開（公告）號： | CN104160789B | 公開（公告）日： | 2017-11-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 約翰·瓦爾考;哈梅特·辛格;布拉德福德·J·林達(dá)克 | 申請（專利權(quán)）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | H05H1/24 | 分類號： | H05H1/24;H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務(wù)所31263 | 代理人： | 李獻(xiàn)忠 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 等離子體 處理 系統(tǒng) 同步 rf 脈沖 方法 裝置 | ||
1.一種用于提供至少兩個(gè)同步脈沖RF信號至等離子體處理系統(tǒng)的等離子體處理室的同步脈沖裝置，其包括：
耦合到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的用于提供第一RF信號的第一RF發(fā)生器，將所述第一RF信號提供至所述等離子體處理室以在其中激發(fā)等離子體，所述第一RF信號表示脈沖RF信號；以及
耦合到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的用于提供第二RF信號至所述等離子體處理室的第二RF發(fā)生器，所述第二RF發(fā)生器具有傳感器子系統(tǒng)，其用于檢測與所述等離子體處理室相關(guān)的并且反映是向所述第一RF信號施加高脈沖還是施加低脈沖的至少一個(gè)參數(shù)的值，所述第二RF發(fā)生器具有脈沖控制子系統(tǒng)，其用于響應(yīng)于檢測到所述至少一個(gè)參數(shù)的所述值對所述第二RF信號施加脈沖。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述至少一個(gè)參數(shù)表示正向RF功率和反射RF功率中的至少一個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述至少一個(gè)參數(shù)表示伽馬，所述伽馬表示指示所述第二RF發(fā)生器的反射功率和正向功率之間的不匹配的程度的數(shù)值指標(biāo)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其進(jìn)一步包括工具主計(jì)算機(jī)，所述工具主計(jì)算機(jī)至少提供觸發(fā)閾值以使能在所述第二RF發(fā)生器的所述傳感器子系統(tǒng)中的電路以確定是向所述第一RF信號施加高脈沖還是施加低脈沖。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的同步脈沖裝置，其中所述脈沖控制子系統(tǒng)被配置成產(chǎn)生至少高電平的所述第二RF信號和低電平的所述第二RF信號，所述高電平和所述低電平通過由所述工具主計(jì)算機(jī)提供的至少一個(gè)值支配。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述第二RF信號當(dāng)被施加脈沖時(shí)，至少包括高脈沖值和低脈沖值，其中所述低脈沖值是非零的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述至少一個(gè)參數(shù)表示從VI探針得到的值。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述至少一個(gè)參數(shù)表示所述第二RF發(fā)生器的輸出阻抗。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)耦合到所述第一RF發(fā)生器和所述第二RF發(fā)生器的輸出端，其中所述至少一個(gè)參數(shù)表示所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端的阻抗。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述第二RF信號當(dāng)被施加脈沖時(shí)，至少包括預(yù)定的高脈沖值和預(yù)定的低脈沖值。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述第二RF信號當(dāng)被施加脈沖時(shí)，至少包括預(yù)定的高脈沖值和預(yù)定的低脈沖值，并且其中所述第二RF信號于在被施加從所述預(yù)定的低脈沖值到所述預(yù)定的高脈沖值的脈沖之后的預(yù)定的持續(xù)時(shí)間屆滿以后，轉(zhuǎn)變到所述預(yù)定的低脈沖值。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的同步脈沖裝置，其中所述第二RF信號當(dāng)被施加脈沖時(shí)，至少包括預(yù)定的高脈沖值和預(yù)定的低脈沖值，并且其中所述第二RF信號于在被施加從所述預(yù)定的高脈沖值到所述預(yù)定的低脈沖值的脈沖之后的預(yù)定的持續(xù)時(shí)間屆滿以后，轉(zhuǎn)變到所述預(yù)定的高脈沖值。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的同步脈沖裝置，其進(jìn)一步包括：控制電路，其用于產(chǎn)生脈沖控制信號以控制通過所述第一RF發(fā)生器施加的脈沖，并且其中所述第二RF發(fā)生器不響應(yīng)于來自所述控制電路的信號施加脈沖。
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