[發明專利]旋涂硬掩模材料

無效

• 申請號: 201380008666.5
• 申請日: 2013-02-11
• 公開（公告）號: CN104159956A
• 公開（公告）日: 2014-11-19
• 發明（設計）人: 安德烈亞什·弗羅姆霍爾德;亞歷克斯·魯濱遜;耶德薩達·馬尼安姆
• 申請（專利權）人: 伯明翰大學
• 主分類號: C08K9/04
• 分類號: C08K9/04;C01B31/02;C09C3/08;H01L21/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 牛海軍

1.一種用于形成旋涂硬掩模的組合物，所述組合物包含：

a.由以下通式表示的富勒烯衍生物，

其中n是1-6的整數，所述富勒烯中的碳原子的數目Q是60、70、76、78、80、82或84，R¹表示包括酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亞胺或羧酸的第一取代基，并且R²表示包括氫、鹵素、C₆-C₂₀芳基、C₁-C₂₀烷基、酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亞胺或羧酸的第二取代基；

b.交聯劑，所述交聯劑包含兩個以上熱反應性基團或催化反應性基團。

2.根據權利要求1所述的組合物，所述組合物還包含一種或多種熱致酸生成物。

3.根據權利要求2所述的組合物，其中所述一種或多種熱致酸生成物選自有機磺酸的烷基酯、有機磺酸的脂環族酯、有機磺酸的胺鹽、有機磺酸的2-硝基芐酯、有機磺酸的4-硝基芐酯、有機磺酸的苯偶姻酯、有機磺酸的β-羥基烷基酯、有機磺酸的β-羥基環烷基酯、有機磺酸的三芳基锍鹽、有機磺酸的烷基二芳基锍鹽、有機磺酸的二烷基芳基锍鹽、有機磺酸的三烷基锍鹽、有機磺酸的二芳基碘鹽、有機磺酸的烷基芳基锍鹽或三(有機磺酰基)甲基化物的銨鹽。

4.根據權利要求2所述的組合物，所述組合物還包含一種或多種光致酸生成物。

5.根據權利要求4所述的組合物，其中所述一種或多種光致酸生成物選自鹵化三嗪、有機磺酸的2-硝基芐酯、有機磺酸的4-硝基芐酯、有機磺酸的三芳基锍鹽、有機磺酸的烷基二芳基锍鹽、有機磺酸的二烷基芳基锍鹽、有機磺酸的二芳基碘鹽、有機磺酸的烷基芳基锍鹽、n-有機磺酰氧基二環[2.2.1]-庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺或1，3-二氧代異吲哚啉-2-基有機磺酸鹽。

6.根據任一前述權利要求所述的組合物，其中所述交聯劑選自環氧化酚醛樹脂、環氧化甲酚樹脂、環氧化雙酚A樹脂、環氧化雙酚A酚醛清漆樹脂、環氧化雙酚樹脂、烷醇甲基三聚氰胺樹脂、烷醇甲基甘脲樹脂、烷醇甲基胍胺樹脂、烷醇甲基苯并胍胺樹脂、糖基脲樹脂或異氰酸酯樹脂。

7.根據任一前述權利要求所述的組合物，其中所述旋涂硬掩模還包含選自以下各項的一種或多種溶劑：聚乙二醇一甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、茴香醚、甲苯、氯仿、氯苯、鄰二氯苯、間二氯苯、對二氯苯、鄰二甲苯、間二甲苯、對二甲苯、二硫化碳或其組合。

8.一種用于形成旋涂硬掩模的方法，所述方法包括：

a.提供組合物，所述組合物包含：

i.由以下通式表示的富勒烯衍生物，

其中n是1-6的整數，所述富勒烯中的碳原子的數目Q為60、70、76、78、80、82或84，R¹表示包括酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亞胺或羧酸的第一取代基，并且R2表示包括氫、鹵素、C₆-C₂₀芳基、C₁-C₂₀烷基、酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亞胺或羧酸的第二取代基；和

ii交聯劑，所述交聯劑具有兩個以上熱反應性基團或催化反應性基團；

b.在基板上形成涂層；和

c.在足以交聯所述涂層的溫度加熱所述基板和所述涂層。

9.根據權利要求8所述的方法，其中所述組合物還包含一種或多種熱致酸生成物。

10.根據權利要求9所述的方法，其中所述一種或多種熱致酸生成物選自有機磺酸的烷基酯、有機磺酸的脂環族酯、有機磺酸的胺鹽、有機磺酸的2-硝基芐酯、有機磺酸的4-硝基芐酯、有機磺酸的苯偶姻酯、有機磺酸的β-羥基烷基酯、有機磺酸的β-羥基環烷基酯、有機磺酸的三芳基锍鹽、有機磺酸的烷基二芳基锍鹽、有機磺酸的二烷基芳基锍鹽、有機磺酸的三烷基锍鹽、有機磺酸的二芳基碘鹽、有機磺酸的烷基芳基锍鹽或三(有機磺酰基)甲基化物的銨鹽。

11.根據權利要求8所述的方法，其中所述組合物還包含一種或多種光致酸生成物。