[發明專利]超聲波探頭及其制造方法

有效

• 申請號: 201380008464.0
• 申請日: 2013-02-06
• 公開（公告）號: CN104105447A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 和田隆亞;大澤敦;山本勝也
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: A61B8/00
• 分類號: A61B8/00;G01N29/24;H04R17/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 熊傳芳;蘇卉

1.一種超聲波探頭，其特征在于，

具備：

襯底材料；

多個無機壓電元件，排列在所述襯底材料的表面上；

第一聲匹配層，配置在所述多個無機壓電元件上；及

第二聲匹配層，配置在所述第一聲匹配層上，

所述第二聲匹配層由構成多個有機壓電元件的上側有機層和用于與所述上側有機層一起進行對所述多個無機壓電元件的聲匹配的下側有機層構成。

2.根據權利要求1所述的超聲波探頭，其中，

所述上側有機層形成得比所述下側有機層薄。

3.根據權利要求1或2所述的超聲波探頭，其中，

所述多個有機壓電元件具有：

片狀的所述上側有機層；

接地電極層，遍及所述上側有機層的表面上而延伸；及

多個信號電極層，排列在與所述下側有機層相向的所述上側有機層的背面上，

所述超聲波探頭還具備以將從所述多個信號電極層到所述多個無機壓電元件的各層分離為多個斷片的方式朝向層疊方向分別以相同的間距平行地延伸的多個分離部，由此所述多個有機壓電元件和所述多個無機壓電元件彼此以相同的間距排列。

4.根據權利要求3所述的超聲波探頭，其中，

具備子塊形成槽，所述子塊形成槽朝向層疊方向延伸，以將構成所述多個無機壓電元件的各斷片、或者分別構成所述多個無機壓電元件和所述第一聲匹配層的各斷片、或者分別構成所述多個無機壓電元件、所述第一聲匹配層和所述第二聲匹配層的所述下側有機層的各斷片進一步分離為多個子塊。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的超聲波探頭，其中，

所述多個有機壓電元件被用作對從所述多個無機壓電元件發送的超聲波進行接收的接收設備，

所述上側有機層為了將接收到的超聲波回波轉換為接收信號而以具有預定電容的厚度形成，

所述上側有機層的厚度和所述下側有機層的厚度之和形成為對從所述多個無機壓電元件發送的超聲波進行期望的聲匹配那樣的值。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的超聲波探頭，其中，

所述上側有機層和所述下側有機層彼此具有±10％的范圍內的聲阻抗。

7.根據權利要求1～5中任一項所述的超聲波探頭，其中，

所述下側有機層具有比所述上側有機層大的聲阻抗，且具有比所述第一聲匹配層小的聲阻抗。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的超聲波探頭，其中，

所述多個無機壓電元件具有：

彼此分離的多個無機壓電體；及

分別配置于所述多個無機壓電體的兩面的多個信號電極層以及多個接地電極層。

9.根據權利要求8所述的超聲波探頭，其中，

所述多個無機壓電體由Pb系的鈣鈦礦結構氧化物構成。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的超聲波探頭，其中，

所述上側有機層僅由有機材料構成，

所述下側有機層由有機材料或者有機材料和無機材料的復合材料構成。

11.根據權利要求10所述的超聲波探頭，其中，

所述上側有機層以及所述下側有機層由偏氟乙烯系材料構成。

12.根據權利要求1～11中任一項所述的超聲波探頭，其中，

還具備配置于所述多個有機壓電元件上的聲透鏡。

13.根據權利要求12所述的超聲波探頭，其中，

在所述多個有機壓電元件與所述聲透鏡之間還具備對所述多個有機壓電元件進行保護的保護層。

14.根據權利要求1～13中任一項所述的超聲波探頭，其中，

還具備與所述多個有機壓電元件分別直接連接的有機壓電元件用放大器。

15.根據權利要求1～14中任一項所述的超聲波探頭，其中，

還具有向被檢體照射照射光的光照射部，

由所述多個有機壓電元件或者所述多個無機壓電元件接收通過從所述光照射部照射照射光而從被檢體激發出的超聲波。