[發(fā)明專利]用于實時地監(jiān)測穿過質(zhì)量流量控制器的流量的系統(tǒng)和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380005938.6
• 申請日: 2013-01-09
• 公開（公告）號: CN104114982A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁軍華
• 申請（專利權(quán)）人: MKS儀器公司
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00;G05D7/06
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 張偉;王英

1.一種質(zhì)量流量控制器，包括：

第一流量計，其被構(gòu)造和布置成測量穿過所述質(zhì)量流量控制器的質(zhì)量的流率；

第二流量計，其被構(gòu)造和布置成測量穿過所述質(zhì)量流量控制器的質(zhì)量的流率；

控制閥，其被構(gòu)造和布置成響應(yīng)于根據(jù)由所述流量計之一所測量的流率而產(chǎn)生的控制信號來控制穿過所述質(zhì)量流量控制器的質(zhì)量的流率；以及

系統(tǒng)控制器，其被構(gòu)造和布置成產(chǎn)生所述控制信號，并在由所述第一流量計所測量的質(zhì)量的流率和由所述第二流量計所測量的質(zhì)量的流率之間的差異超過閾值時提供指示。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述第一流量計和所述第二流量計具有相同的類型。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述第一流量計和所述第二流量計具有不同的類型。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述流量計中的至少一個是差壓流量計。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述流量計中的至少一個是熱質(zhì)量流量計。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述流量計中的另一個是差壓流量計。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述流量計中的至少一個是科里奧利流量計。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述流量計中的至少一個是磁性流量計。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述流量計中的至少一個是超聲流量計。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述第一流量計和所述第二流量計分別在所述控制閥的上游和下游。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述第一流量計和所述第二流量計都位于所述控制閥的上游。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述第一流量計和所述第二流量計都位于所述控制閥的下游。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述控制信號根據(jù)由熱質(zhì)量流量計所測量的流率而產(chǎn)生。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的質(zhì)量流量控制器，其中另一流量計是差壓流量計。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述控制信號根據(jù)由差壓流量計所測量的流率而產(chǎn)生。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的質(zhì)量流量控制器，其中另一流量計是熱質(zhì)量流量計。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述閾值是用戶設(shè)置的。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中所述閾值是工廠設(shè)置的。

19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器，其中根據(jù)針對過程的質(zhì)量流量中的可允許容限來設(shè)置所述閾值，所述控制器用于利用所述過程來輸送氣體。