[發明專利]玻璃薄膜的切割方法

有效

• 申請號: 201380004902.6
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN104039719B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發明（設計）人: 松本保弘;八木直彥
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03B33/09
• 分類號: C03B33/09;B23K26/00;B23K26/38;B23K26/402;B28D5/00;C03B33/07;C03C27/06
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉影娜

技術領域

本發明涉及一種玻璃薄膜的切割方法及玻璃薄膜層疊體，詳細而言，涉及一種利用了激光加熱的玻璃薄膜的整體切割。

背景技術

眾所周知，在以平板顯示器等玻璃基板為代表的板狀玻璃產品的制造工序中，通過從大面積的板狀玻璃切出小面積的板狀玻璃、修剪沿著板狀玻璃的邊的邊緣部，從而進行板狀玻璃的切割。作為其方法，舉出對板狀玻璃進行切割的方法。

作為切割板狀玻璃的方法之一，已知有圖7所示那樣的、利用了激光加熱的切割的方法(以下，稱作激光切割法)。如圖7所示，該方法是，一邊使板狀玻璃G在沿著切割預定線4的方向X上移動、一邊使激光9沿著切割預定線4而呈點狀地照射，并且使水等制冷劑10追隨于激光9而進行噴射。

而且，還具有如下所述的方法：利用緣于由激光9加熱的加熱部6與借助制冷劑10冷卻了加熱部6的一部分的冷卻部7之間的溫度差而進行作用的熱應力，使刻于板狀玻璃G的端部的初期裂縫8沿著切割預定線4進展，通過連續地形成切割部11而對板狀玻璃G進行整體切割(例如，參照專利文獻1)。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011-116611號公報

發明內容

發明要解決的課題

然而，近年來提出作為撓性顯示器、應用部件的原材料而采用厚度為200μm以下的板狀玻璃、即玻璃薄膜的方案，板狀玻璃的薄壁化得以推進。上述專利文獻1所公開的技術不僅以厚度較大的板狀玻璃為對象，還以上述那樣的玻璃薄膜的整體切割為對象，但當使用上述專利文獻1所公開的技術來進行玻璃薄膜的切割時，產生下述這樣的問題。

即，在利用激光切割法來切割厚度較大的板狀玻璃的情況下，因其厚度的大小的緣故，如圖8a所示，在板狀玻璃G的厚度方向D上，能夠容易生成加熱部6與冷卻部7這兩者。因此，利用緣于該加熱部6與冷卻部7之間的溫度差而進行作用的熱應力，使切割部11沿著厚度方向D進展，由此能夠順利地進行板狀玻璃G的切割。

另一方面，由于厚度為200μm以下的玻璃薄膜的厚度極薄，因此，如圖8b所示，不具有用于沿著厚度方向D而生成加熱部6與冷卻部7這兩者的足夠厚度，加熱部6的生成變得不充分。因此，在進行玻璃薄膜GF的切割的情況下，如圖8c所示，利用緣于沿著玻璃薄膜GF的表面生成的加熱部6與冷卻部7之間的溫度差而進行作用的熱應力，通過使切割部11沿著C方向進展，由此進行玻璃薄膜GF的切割。

然而，如該圖所示，在切割的行進方向C上的切割預定線4的終端部E，由于在切割預定線4的延長線上不存在玻璃薄膜GF，因此存在能夠僅生成冷卻部7、而無法生成由雙點劃線表示的加熱部6這樣的問題。其結果是，在終端部E中，無法利用用于使切割部11進展所需要的熱應力，從而難以順利地進行玻璃薄膜GF的切割。

因此，在利用激光切割法來切割厚度為200μm以下的玻璃薄膜的情況下，如上述那樣，現狀是以往使用的使切割部沿著玻璃薄膜的厚度方向進展的方法、使切割部在沿著玻璃薄膜的表面的方向上進展的方法中的任一種方法都難以適宜地進行切割。

本發明鑒于上述情況，其技術性課題在于，利用激光切割法順利地切割厚度為200μm以下的玻璃薄膜。

解決方案

為了解決上述課題而完成的本發明所涉及的方法是一種玻璃薄膜的切割方法，該玻璃薄膜的切割方法具有整體切割工序，在該整體切割工序中，通過對于厚度為200μm以下的玻璃薄膜進行基于激光的加熱及追隨于該加熱的冷卻，使初期裂縫沿著切割預定線進展，從而對所述玻璃薄膜進行整體切割，所述玻璃薄膜的切割方法的特征在于，具有層疊體制作工序，在該層疊體制作工序中，將所述玻璃薄膜及支承該玻璃薄膜的支承玻璃的、各自相互接觸的一側的表面的表面粗糙度Ra設為2.0nm以下，通過使該兩表面面接觸來制作玻璃薄膜層疊體，在所述層疊體制作工序的執行后，執行所述整體切割工序。

根據上述方法，在玻璃薄膜與支承玻璃各自中，接觸一側的面成為表面粗糙度為2.0nm以下的平滑的面，由此在層疊體制作工序中層疊的玻璃薄膜與支承玻璃之間產生適度的密接力。在此，該密接力被假定為基于氫鍵而產生。由此，原本應作為玻璃薄膜層疊體的不同構成要素的玻璃薄膜與支承玻璃形成為厚度較大的一片板狀玻璃。而且，通過充分確保厚度的大小，能夠在層疊體的厚度方向上容易地生成由激光加熱的加熱部、和對加熱部的一部分進行了冷卻的冷卻部這兩者。其結果是，在整體切割工序中，利用緣于加熱部與冷卻部之間的溫度差而進行作用的熱應力，能夠使形成于玻璃薄膜的切割部沿著厚度方向進展，從而能夠順利地進行玻璃薄膜的切割。