[發明專利]3D納米微粒集合結構體及使用它的氣體傳感器有效
| 申請號： | 201380002955.4 | 申請日： | 2013-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN103781723A | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發明（設計）人： | 南雄植;裵容浚;崔萬秀 | 申請（專利權）人： | 首爾大學校產學協力團;多次元能源系統研究集團 |
| 主分類號： | B82B1/00 | 分類號： | B82B1/00;B82B3/00;C23C14/28 |
| 代理公司： | 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡曉紅 |
| 地址： | 韓國首爾冠*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 微粒 集合 結構 使用 氣體 傳感器 | ||
1.一種3D納米微粒結構體，其特征在于，通過集合納米微粒而形成的多個結構體相互連接以形成橋。
2.根據權利要求1所述的3D納米微粒結構體，其特征在于，通過集合納米微粒而形成的所述多個結構體具有花瓣形狀，相鄰的花瓣相互連接以形成橋。
3.根據權利要求1所述的3D納米微粒結構體，其特征在于，所述納米微粒為金屬納米微粒。
4.根據權利要求1所述的3D納米微粒結構體，其特征在于，所述納米微粒為金屬氧化物納米微粒。
5.采用權利要求4所述的3D納米微粒結構體的氣體傳感器。
6.一種用于制造如權利要求1所述的納米微粒結構體的方法，其特征在于，包括步驟：
1）將襯底設置在反應器內，并隨后施加電場；其中所述襯底具有由帶有穿孔圖案的掩膜層所形成的微米/納米圖案；
2）通過在火花放電室內對納米微粒前體進行火花放電而產生帶電納米微粒和離子；以及
3）將所述帶電納米微粒和離子引入至所述反應器內，并隨后在所述襯底的所述微米/納米圖案的穿孔部分上聚焦沉積納米微粒。
7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，還包括步驟：在執行所述步驟2）之前，通過電暈放電產生離子，隨后在所述襯底的微米/納米圖案上積聚離子；其中所述襯底設置在所述反應器內。
8.一種用于制造如權利要求4所述的納米微粒結構體的方法，其特征在于，如權利要求1-3中任一項所述的納米微粒結構體在包含氧氣的氣氛下進行加熱。
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