[發明專利]水分量變動檢測裝置、水分量變動檢測方法、真空計以及真空度變動檢測方法

無效

• 申請號: 201380001723.7
• 申請日: 2013-04-05
• 公開（公告）號: CN103620383A
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 金子由利子;巖本卓也;寒川潮;釜井孝浩;橋本雅彥
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: G01N21/3577
• 分類號: G01N21/3577;G01L21/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 胡建新

1.一種水分量變動檢測裝置，具備：

硅氣凝膠，被配置為在測量對象空間中露出；以及

檢測部，檢測所述測量對象空間中的水分量變動，

所述檢測部具有：

光源，向所述硅氣凝膠照射具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波長區域的光；

受光部，接受透過所述硅氣凝膠的光中的、具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波長區域的光；以及

運算部，根據由所述受光部接受的光的強度，運算所述測量對象空間中的水分量變動。

2.如權利要求1所述的水分量變動檢測裝置，

在所述硅氣凝膠中，

具有孔徑主要是10nm以上的貫通孔，

比表面積是400m²/g以上且800m²/g以下，

密度是50kg/m³以上且500kg/m³以下。

3.如權利要求1或者2所述的水分量變動檢測裝置，

所述檢測部還具有光強度存儲部，該光強度存儲部存儲接受的光的光強度，

所述運算部，根據所述受光部接受的光的光強度與在所述光強度存儲部存儲的所述光強度的差分，參考光強度的變動量與水分量的變動量相對應的關系，運算水分量的變動。

4.如權利要求1或者2所述的水分量變動檢測裝置，

所述運算部，參考所述受光部接受的光的光強度、以及光強度的變動量與水分量的變動量相對應的關系，運算每單位體積的水分含量。

5.如權利要求1至4的任一項所述的水分量變動檢測裝置，

從所述光源照射的光，還具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波長區域，

所述受光部還接受具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波長區域的光，

所述受光部，根據由所述受光部接受的具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波長區域的光的強度與具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波長區域的光的強度的比的變化量，來檢測所述測量對象空間中的水分量變動。

6.權利要求1至4的任一項所述的水分量變動檢測裝置，

所述測量對象空間是壓力可變的腔體內的空間，

所述腔體具有一個以上的測量窗，該測量窗能夠使具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波長區域的光透過，

來自被配置在所述腔體的外部的所述光源的光，通過所述測量窗，照射到被配置在所述腔體內的所述硅氣凝膠，

照射到所述硅氣凝膠的光中的透過所述硅氣凝膠的光，通過所述測量窗，由被配置在所述腔體的外部的所述受光部接受。

7.如權利要求5所述的水分量變動檢測裝置，

所述測量對象空間是壓力可變的腔體內的空間，

所述腔體具有一個以上的測量窗，該測量窗能夠使具有1850nm以上且1970nm以下的至少一部分波長區域的光、和具有600nm以上且小于1850nm以及大于1970nm且2000nm以下的至少一部分波長區域的光透過，

來自被配置在所述腔體的外部的所述光源的光，通過所述測量窗，照射到被配置在所述腔體內的所述硅氣凝膠，

照射到所述硅氣凝膠的光中的透過所述硅氣凝膠的光，通過所述測量窗，由被配置在所述腔體的外部的所述受光部接受。

8.如權利要求1至7的任一項所述的水分量變動檢測裝置，

所述測量對象空間是壓力可變的腔體內的空間，

所述光源和所述受光部被配置在所述腔體的外部，

從所述光源照射的光，經由射出用光導纖維照射到被配置在所述腔體內的所述硅氣凝膠，

照射到所述硅氣凝膠的光中的透過所述硅氣凝膠的光，經由受光用光導纖維，由被配置在所述腔體的外部的所述受光部接受。