[發(fā)明專利]壓電體膜、噴墨頭、使用噴墨頭形成圖像的方法、角速度傳感器、使用角速度傳感器測定角速度的方法、壓電發(fā)電元件以及使用壓電發(fā)電元件的發(fā)電方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380000872.1
• 申請日: 2013-02-28
• 公開（公告）號: CN103443946A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張?zhí)尜F圣;田中良明;足立秀明;藤井映志
• 申請（專利權(quán)）人: 松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社
• 主分類號: H01L41/187
• 分類號: H01L41/187;B41J2/045;B41J2/055;G01C19/5607;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/39
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種壓電體膜，其特征在于，具備：

Na_xM_1-x層和（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層，

在此，

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層形成在所述Na_xM_1-x層上，

M表示Pt、Ir或PtIr，

x表示0.002以上0.02以下的值，

所述Na_xM_1-x層和所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層均僅具有（001）取向、僅具有（110）取向或僅具有（111）取向。

2.如權(quán)利要求1所述的壓電體膜，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層與所述Na_xM_1-x層接觸。

3.如權(quán)利要求1所述的壓電體膜，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層還含有Mn。

4.一種噴墨頭，其特征在于，具備：

具有由第一電極和第二電極夾著的壓電體層的壓電體膜；

與所述壓電體膜接合的振動層；和

具有收容墨水的壓力室、并且與所述振動層中所述壓電體膜接合的面的相反側(cè)的面接合的壓力室部件，

所述振動層與所述壓電體膜接合，使得所述振動層根據(jù)基于壓電效應(yīng)的所述壓電體膜的位移在該振動層的膜厚方向上產(chǎn)生位移，

所述振動層與所述壓力室部件相互接合，使得所述壓力室的容積根據(jù)所述振動層的位移而變化，并且根據(jù)所述壓力室的容積的變化，所述壓力室內(nèi)的墨水被噴出，

所述第一電極具備Na_xM_1-x層，

所述壓電體層為（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層，

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層形成在所述Na_xM_1-x層上，

M表示Pt、Ir或PtIr，

x表示0.002以上0.02以下的值，

所述Na_xM_1-x層和所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層均僅具有（001）取向、僅具有（110）取向或僅具有（111）取向。

5.如權(quán)利要求4所述的噴墨頭，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層與所述Na_xM_1-x層接觸。

6.如權(quán)利要求4所述的噴墨頭，其特征在于：

所述（Bi，Na）TiO₃-BaTiO₃層還含有Mn。