[實用新型]一種用于MOCVD設備的MO源供給系統管路

有效

• 申請號: 201320897283.5
• 申請日: 2013-12-25
• 公開（公告）號: CN203878209U
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 張念站;李曉東;崔德國
• 申請（專利權）人: 蘇州矩陣光電有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于MOCVD設備的MO源供給系統管路，其包括多個并聯設置的MO源供給系統，所述MO源供給系統包括：控制載氣流量的第一質量流量控制器(1)，所述第一質量流量控制器(1)通過第一氣動閥(11)與MO源瓶(2)入口處的第一手動閥(21)相連通，所述MO源瓶(2)的出口依次通過第二手動閥(22)和第二氣動閥(12)與壓力控制器(3)相連通，所述第一氣動閥(11)和所述第二氣動閥(12)之間還設有將二者直接連通的第三氣動閥(13)，其特征在于：還包括設于載氣輸入端(4)與所述壓力控制器(3)之間，將二者直接連通的第二質量流量控制器(5)。

2.根據權利要求1所述的用于MOCVD設備的MO源供給系統管路，其特征在于：所述壓力控制器(3)的出口還連接有可以切換至run/vent真空MO輸送管路的run/vent氣動閥(6)。

3.根據權利要求2所述的用于MOCVD設備的MO源供給系統管路，其特征在于：每個所述MO源供給系統的所述第一手動閥(21)的進氣端與所述第二手動閥(22)的出氣端之間設有連通管道，所述連通管道上設有一個“T”型連通閥，所述T”型連通閥的橫向的左右兩端分別通過第四氣動閥(14)、第五氣動閥(15)與所述第一手動閥(21)、第二手動閥(22)相連通，所述T”型連通閥的垂直端與抽真空干泵(7)連通。

4.根據權利要求3所述的用于MOCVD設備的MO源供給系統管路，其特征在于：所述抽真空干泵(7)的連接端端部還設有第六氣動閥(16)。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的用于MOCVD設備的MO源供給系統管路，其特征在于：所述第一氣動閥(11)和第二氣動閥(12)之間的狀態一致，且與第三氣動閥(13)的狀態相反，三者之間形成聯動的第一組合氣動閥。

6.根據權利要求3或4所述的用于MOCVD設備的MO源供給系統管路，其特征在于：所述第四氣動閥(14)和第五氣動閥(15)形成狀態一致的聯動的第二組合氣動閥。

7.根據權利要求5所述的用于MOCVD設備的MO源供給系統管路，其特征在于：所述MO源瓶(2)的入口管道延伸至所述MO源瓶(2)的底部。