[實用新型]一種硅片研磨液的攪拌裝置

有效

• 申請號: 201320893200.5
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN203816550U
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 聶金根
• 申請（專利權）人: 鎮江市港南電子有限公司
• 主分類號: B01F7/22
• 分類號: B01F7/22;B01F15/02
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 季萍

技術領域

本發明涉及一種攪拌裝置，具體涉及一種硅片研磨液的攪拌裝置。?

背景技術

硅片加工過程中，為了保證硅片的設計要求，要求硅片進行研磨。現加工所需要的研磨液，一般采用手工攪拌。該方法使得工作效率低，且攪拌不均勻。并且攪拌時采用單向攪拌，使得攪拌不夠徹底。?

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對以上弊端提供一種硅片研磨液的攪拌裝置，本裝置結構簡單，攪拌均勻，提高了研磨液的質量。?

為解決上述技術問題，本發明的技術方案是：?

一種新型硅片研磨液的攪拌裝置,包括攪拌葉、攪拌軸、攪拌桶、定時裝置，轉向裝置，電機，其中所述攪拌桶內設有攪拌軸，所述攪拌軸上設有兩片攪拌葉，所述攪拌桶上部設有轉向裝置，轉向裝置上部有定時裝置，定時裝置上部設有電機。所述電機的轉軸通過定時裝置和轉向裝置的一端相連且設置于攪拌桶的上方；所述攪拌軸垂直設置在攪拌桶的中部，所述攪拌葉垂直固定在攪拌軸的下端，所述攪拌葉為螺旋攪拌葉。?

上述一種新型硅片研磨液的攪拌裝置，其中所述攪拌桶下部設有過濾板，儲液槽，所述儲液槽位于過濾板的下部；所述攪拌桶底部設有出液口。所述過濾板用來過濾未充分攪拌剩下來的大的顆粒；所述?儲液槽，用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口。?

工作時，按動定時裝置中的定時器，設定攪拌時間；當順時針攪拌到一段時間后，再設置轉向裝置，就可以逆時針攪拌一段時間。這樣雙向攪拌可以使得攪拌更加的均勻，進而提高了研磨液的質量。?

本發明的有益效果：由于所述攪拌裝置設有定時裝置和轉向裝置，從而可以控制攪拌時間和攪拌方向，從而可以使得攪拌更加的均勻，從而提高了研磨液的質量。所述攪拌桶下部設有過濾板，儲液槽，所述儲液槽位于過濾板的下部；所述攪拌桶底部設有出液口。所述過濾板用來過濾未充分攪拌剩下來的大的顆粒；所述儲液槽，用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口，從而獲取高質量的研磨液?

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖?

具體實施方式

如圖所示一種新型硅片研磨液的攪拌裝置,包括攪拌葉1、攪拌軸2、攪拌桶3、定時裝置4，轉向裝置5，電機6，其中所述攪拌桶3內設有攪拌軸2，所述攪拌軸上設有兩片攪拌葉1，所述攪拌桶上部設有轉向裝置5，轉向裝置5上部有定時裝置4，定時裝置4上部設有電機6。所述電機6的轉軸通過定時裝置4和轉向裝置5的一端相連且設置于攪拌桶3的上方；所述攪拌軸2垂直設置在攪拌桶3的中部，所述攪拌葉1垂直固定在攪拌軸2的下端，所述攪拌葉1為螺旋形攪拌葉1。?

所述攪拌桶3下部設有過濾板6，儲液槽7，所述儲液槽7位于過濾板的下部；所述攪拌桶3底部設有出液口8。所述過濾板6用來?過濾未充分攪拌剩下來的大的顆粒；所述儲液槽7，用來讓攪拌充分完成的研磨液流向出液口8。?

工作時，可以通過定時裝置4和轉向裝置5設定攪拌時間及攪拌方向，當攪拌按順時針方向轉動一段時間后，設置轉向裝置后就可以逆時針攪拌一段時間。這樣雙向攪拌可以使得攪拌更加的均勻，進而提高了研磨液的質量。所述攪拌桶3下部設有過濾板6，儲液槽7，所述儲液槽7位于過濾板的下部；所述攪拌桶3底部設有出液口8。從而獲取高質量的研磨液。?

這里本發明的描述和應用是說明性的，并非想將本發明的范圍限制在上述實施例中，因此，本發明不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術方案均在本發明保護的范圍內。?