[實用新型]MEMS傳感裝置及包含該MEMS傳感裝置的電子設備

有效

• 申請號: 201320892043.6
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN203643469U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 金安
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭微電子股份有限公司
• 主分類號: G01P15/00
• 分類號: G01P15/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張振軍

1.一種MEMS傳感裝置，其特征在于，包括：

MEMS機械裝置，具有至少一個檢測軸，產生至少一個加速度信號，每個加速度信號分別與相應的檢測軸檢測到的加速度相關聯；

電壓轉換電路，接收所述加速度信號并將其轉換為電壓信號；

濾波模塊，與所述電壓轉換電路的輸出端相連，對所述電壓信號進行濾波；

信號檢測電路，與所述濾波模塊的輸出端相連，對所述濾波模塊的輸出信號進行檢測并根據該輸出信號的幅度產生自動休眠信號或喚醒信號。

2.根據權利要求1所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述檢測軸和加速度信號的數量為多個，所述MEMS傳感裝置還包括：

多路選擇電路，所述多路選擇電路將所述多個加速度信號以分時復用的方式傳輸至所述電壓轉換電路。

3.根據權利要求1所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述濾波模塊包括：

A/D轉換電路，將所述電壓信號轉換為數字信號；

數字低通濾波器，與所述A/D轉換電路的輸出端相連，對所述數字信號進行低通濾波；

數字高通濾波器，與所述數字低通濾波器的輸出端相連，對所述數字低通濾波器的輸出信號進行高通濾波。

4.根據權利要求3所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數字低通濾波器為級聯積分梳狀濾波器。

5.根據權利要求4所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數字低通濾波器包括：

第一傳輸模塊；

下抽樣器，其輸入端與所述第一傳輸模塊的輸出端相連；

第二傳輸模塊，其輸入端與所述下抽樣器的輸出端相連；

其中，該第一傳輸模塊包括多個級聯的第一傳輸節點，該第一傳輸節點包括：

加法器單元，其第一輸入端為該第一傳輸節點的輸入端，其輸出端為該第一傳輸節點的輸出端；

一階延遲單元，其輸入端與該加法器單元的輸出端相連，其輸出端與所述加法器的第二輸入端相連；

該第二傳輸模塊包括多個級聯的第二傳輸節點，該第二傳輸節點包括：

減法器單元，其第一輸入端為該第二傳輸節點的輸入端，其輸出端為該第二傳輸節點的輸出端；

M階延遲單元，其輸入端與該減法器單元的第一輸入端相連，其輸出端與該減法器單元的第二輸入端相連，其中M為正整數。

6.根據權利要求5所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述下抽樣器具有通訊接口，用于設置該下抽樣器的下抽樣因子。

7.根據權利要求3所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數字高通濾波器為數字高通巴特沃斯濾波器。

8.根據權利要求7所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述數字高通濾波器包括：

減法器單元，其第一輸入端接收輸入信號；

加法器單元，其第一輸入端連接所述減法器單元的輸出端；

一階延遲單元，其輸入端連接所述加法器單元的輸出端，其輸出端連接所述加法器單元的第二輸入端；

第一增益單元，其輸入端連接所述一階延遲單元的輸出端，其輸出端連接所述減法器單元的第二輸入端，該第一增益單元的增益為（1-α）；

第二增益單元，其輸入端連接所述減法器單元的輸出端，該第二增益單元的增益為（1+α）/2；

其中α為預設的常數。

9.根據權利要求1所述的MEMS傳感裝置，其特征在于，所述信號檢測電路包括：

自動休眠檢測電路，默認產生自動休眠信號，若所述濾波模塊的輸出信號大于預設的加速度閾值，則終止該自動休眠信號；終止該自動休眠信號后開始計數，計數超過第一計數閾值后重新檢測該濾波模塊的輸出信號，若檢測到的輸出信號小于該預設的加速度閾值，則恢復輸出該自動休眠信號；

喚醒生成電路，若所述濾波模塊的輸出信號大于該預設的加速度閾值則開始計數，否則計數產生的計數值遞減，并且該計數值超過第二計數閾值后產生該喚醒信號。

10.一種電子設備，其特征在于，包括權利要求1至9中任一項所述的MEMS傳感裝置以及與其相連的系統處理單元，所述MEMS傳感裝置和系統處理單元基于所述自動休眠信號自動休眠，所述系統處理單元基于所述喚醒信號執行預設的操作。