[實(shí)用新型]一種用于高溫?cái)U(kuò)散爐的石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320885706.1
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN203683661U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王元
• 申請（專利權(quán)）人: 上海索日新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 左祝安

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種石墨舟片卡點(diǎn)裝卸裝置，特別涉及一種用于晶體硅太陽能電池生產(chǎn)的PECVD?石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置。

背景技術(shù)

PECVD是利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體進(jìn)行化學(xué)氣相沉積的過程。其特點(diǎn)是：沉積溫度低、電子密度高、電子平均能量大、富含大量化學(xué)氣相沉積的活性粒子和自由基。PECVD等離子體中由于含有高密度的離子，這些具有一定動能的離子對沉積的減反射鈍化膜進(jìn)行轟擊，可以提高膜的致密性和應(yīng)力。

在管式PECVD設(shè)備中，基片沿極板立式放置，擺放很多組。在基片的裝載與卸載過程中，容易對石墨舟卡點(diǎn)造成磨損；當(dāng)石墨舟進(jìn)反應(yīng)爐后，在高溫和高頻輝光的環(huán)境中，石墨舟卡容易腐蝕及老化。從而需要大量更換石墨舟卡點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于高溫?cái)U(kuò)散爐的石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，能在安裝與拆卸過程中降低石墨舟卡點(diǎn)及石墨舟片隱裂的機(jī)率。?

本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題可以采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

一種用于高溫?cái)U(kuò)散爐的石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置，包括一個(gè)支架，支架下方設(shè)置有用于安裝石墨片的底座，支架上還設(shè)置有懸梁，懸梁上設(shè)置有可以上下滑動的滑桿，滑桿位于石墨片上方，滑桿前端連接有頂桿，石墨片上具有一工藝孔，底座上設(shè)置有與工藝孔對應(yīng)的通孔，所述頂桿與工藝孔、通孔上下對應(yīng)。

滑桿設(shè)置有一桿套，桿套固定在懸梁上，滑桿可上下的在桿套內(nèi)滑動。

滑桿上方穿過桿套，滑桿穿過桿套部分設(shè)置有螺紋，滑桿帶有螺紋部分套有螺母。

滑桿上還設(shè)置有切換扣，切換扣位于螺母下方。

懸架上還設(shè)置有一控制滑桿上下的搖桿。

所述頂桿通過一固定螺絲連接在滑桿下端。

當(dāng)定位螺母調(diào)整適當(dāng)位置后，打開切換扣即可快速拆卸石墨舟卡點(diǎn)；合上切換扣即可快速安裝石墨舟卡點(diǎn)。實(shí)現(xiàn)快速切換石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置工作模式的快點(diǎn)切換。

有益效果，本實(shí)用新型所述的一種用于高溫?cái)U(kuò)散爐的石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置，結(jié)構(gòu)精巧，可以有效的避免石墨舟片的損壞，在安裝與拆卸過程中降低石墨舟卡點(diǎn)及石墨舟片隱裂的機(jī)率。操作簡單，使用方便。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型所述的一種用于高溫?cái)U(kuò)散爐的石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置的整體裝配結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型所述的搖桿結(jié)構(gòu)裝配分解圖。

圖4為本實(shí)用新型所述的石墨片示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

參看圖1—圖4，一種用于高溫?cái)U(kuò)散爐的石墨舟卡點(diǎn)裝卸裝置，包括一個(gè)支架1，支架1下方設(shè)置有用于安裝石墨片5的底座2，支架1上還設(shè)置有懸梁3，懸梁3上設(shè)置有可以上下滑動的滑桿4，滑桿4位于石墨片5上方，滑桿4前端連接有頂桿6，石墨片5上具有一工藝孔51，底座上設(shè)置有與工藝孔對應(yīng)的通孔21，所述頂桿6與工藝孔51、通孔21上下對應(yīng)。

滑桿4設(shè)置有一桿套7，桿套7固定在懸梁3上，桿套7的一側(cè)設(shè)有桿套口71，滑桿4可上下的在桿套7內(nèi)滑動。

滑桿4上方穿過桿套7，滑桿4穿過桿套上方部分設(shè)置有螺紋，滑桿4帶有螺紋部分套有螺母8。通過調(diào)整螺母8的高度，可控制滑桿4下降的深度。滑桿4在桿套7中的部分帶有齒紋72，用于滑桿與齒輪73的咬合，齒輪72則連接搖桿10，如圖2。

滑桿4上還設(shè)置有切換扣9，切換扣9位于螺母8下方。

懸架3上還設(shè)置有懸架通孔79。用于固定齒輪73和連接軸74。連接軸上設(shè)置有花鍵75，花鍵75的形狀與齒輪72通孔的形裝相同，用于與齒輪的咬合，連接軸74上還設(shè)置有通孔76和絲孔，搖桿10穿過通孔76后用螺絲77可以固定。如圖4，連接軸74穿過墊片78后，再穿過齒輪73，再穿這懸架通孔79，再穿墊片，最后用螺母固定在懸架3上。

懸架3上還設(shè)置有一控制滑桿4上下的搖桿10，搖桿的一端為配重球101，另一端為搖把，配重球101固定在搖桿上的，而搖把直接套在搖桿的。取下?lián)u把，搖桿穿過連接軸通孔，用連接軸上的螺絲固定搖桿。在裝卸卡點(diǎn)過程中，搖動搖桿后，搖桿會在配重球的重力作用下回到起始點(diǎn)，滑桿4也會上升至起始點(diǎn)，參看圖3。

所述頂桿6通過一固定螺絲連接在滑桿下端。