[實用新型]一種進氣分配裝置

有效

• 申請號: 201320884748.3
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN203866382U
• 公開（公告）日: 2014-10-08
• 發明（設計）人: 蘭云峰;任鑫;劉東
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C30B25/14
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 孟憲功

1.一種進氣分配裝置，其特征在于，包括具有導熱功能的集成塊(1)和用于為所述集成塊(1)加熱的加熱元件(5)，所述集成塊(1)內設有多個流道(2)，所述加熱元件(5)設置于所述集成塊(1)中，所述流道(2)與氣源端連接，且還與腔室連接；?

當流道(2)為通孔時，在流道(2)與集成塊(1)連通的位置分別設有封閉部件(3)；當流道(2)為盲孔時，在流道(2)與集成塊(1)連通的位置設有封閉部件(3)，封閉部件(3)與集成塊(1)嚴密焊接。?

2.根據權利要求1所述的進氣分配裝置，其特征在于，多個所述流道(2)之間成一定間隔設置。?

3.根據權利要求1所述的進氣分配裝置，其特征在于，多個所述流道(2)中的一部分成一定間隔設置，另一部分成一定角度彼此連通，所述角度大于或等于90°且小于或等于180°。?

4.根據權利要求1-3任一項所述的進氣分配裝置，其特征在于，所述流道(2)通過進口連接部件(8)與氣源端連接，所述流道(2)通過出口連接部件(4)與腔室連接。?

5.根據權利要求4所述的進氣分配裝置，其特征在于，所述集成塊(1)上還安裝有用于測量所述流道(2)中的氣體的溫度的測溫元件(6)，所述測溫元件(6)通過止動螺釘(7)固定安裝在所述集成塊(1)上。?

6.根據權利要求5所述的進氣分配裝置，其特征在于，所述測溫元件(6)連接有用于檢測進入所述流道(2)的氣體的溫度及控制所述加熱元件(5)開閉的控制系統，所述控制系統與所述加熱元件(5)連接。?