[實用新型]多色半導體激光器合束裝置

有效

• 申請號: 201320883486.9
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN203839702U
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 朱金通;季朝華;宮廣彪;倪秀付
• 申請（專利權）人: 維林光電（蘇州)有限公司
• 主分類號: H01S5/40
• 分類號: H01S5/40;H01S5/06;G02B27/28;G02B27/10
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陸明耀;何朝旭

技術領域

本實用新型涉及半導體激光器領域，尤其涉及一種多色半導體激光器合束裝置。?

背景技術

由于半導體激光器具有效率高、體積小、壽命長等優點，因此采用半導體激光器合束的模塊在激光醫療、激光檢測與測量、儀器儀表等方面具有廣泛的應用。目前，用于半導體激光器合束主要有以下三種方式：1）在自由空間上通過合束器件將兩束或者多束激光合束；2）通過波導器件將兩束或者多束激光合束；3）通過光纖熔接將兩束或者多束激光合束。?

在自由空間上通過合束器件將兩束或者多束激光合束，該方法應用最為普遍，相對工藝簡單，成本低廉；但是，對于噪聲要求高的應用，沒有實施的優勢，并且，合束后的每個通道的干擾不能有效的降低，不便于在其中加入監控或者反饋的元件。?

通過波導器件將兩束或者多束激光合束，該方法也具有廣泛的應用，結構簡單，但是工藝要求高，相對于自由空間上通過合束器件合束沒有成本優勢，并且，每個通道的干擾嚴重，要想保證輸出光束的偏振特性需要特殊的工藝。在對噪聲參數敏感和高保偏性能的應用中沒有成本優勢。?

通過光纖熔接將兩束或者多束激光合束，目前在許多的領域中得到應用，但是每次多為兩根光纖的熔接，如果是多束光束的合束，操作復雜，并且不能保證很高的成品率。和上述兩種方法類似，在對噪聲參數敏感和高保偏性能的應用中也沒有成本優勢。?

實用新型內容

鑒于上述現有技術存在的缺陷，本實用新型的目的是提出一種多色半導體激光器合束裝置。?

本實用新型的目的將通過以下技術方案得以實現：?

一種多色半導體激光器合束裝置，包括多個相互并聯的具有不同波長的半導體激光器；多個相互并聯的光束偏振改良裝置，防止光束的相同偏振部分的反饋，以降低由此而產生的光束噪聲的增加，所述光束偏振改良裝置分別位于相對應的所述半導體激光器的輸出光路上；一用于合束的合束鏡組，所述合束鏡組的輸入端位于所述光束偏振改良裝置的輸出光路上，所述合束鏡組的輸出端與一補償鏡組在同一光路上，補償鏡組用于補償不同波長而產生的色差，其和合束鏡組共同作用，既達到了合束的目的，又減少了因為光束同心而造成的不同波長的彼此通道之間的相互干擾，以及對其他通道的反饋信號的干擾而造成的功率的不穩定與噪聲。

優選的，上述的多色半導體激光器合束裝置，其中：每個所述半導體激光器分別固定在一多維度調整支架上。?

優選的，上述的多色半導體激光器合束裝置，其中：所述半導體激光器為經過準直的半導體激光器，或者為通過與一準直器光纖耦合的半導體激光器。?

優選的，上述的多色半導體激光器合束裝置，其中：每個所述光束偏振改良裝置分別包括一偏振分光鏡和一四分之一波片，所述四分之一波片與經過相對應的所述偏振分光鏡的光的波長相匹配，前者用于提高光束的偏振性能，后者用于改變光束的偏振性能，從而防止光束的相同偏振部分的反饋以降低由此而產生的光束噪聲的增加，大大地提升了合束結構性能。?

優選的，上述的多色半導體激光器合束裝置，其中：所述合束鏡組包括全反鏡和合束鏡。?

優選的，上述的多色半導體激光器合束裝置，其中：所述全反鏡和合束鏡分別固定在基材上，所述基材為因瓦合金或者銦鋼材料，其中因瓦合金為在-50℃～100℃范圍的平均線膨脹系數低于1.5×10^-6?／℃的含鎳36％的鐵基低熱膨脹合金。?

優選的，上述的多色半導體激光器合束裝置，其中：所述全反鏡和合束鏡固定在所述基材的在應用的溫度范圍內因溫度變化而產生的形變最小方向上，有效的降低了因為溫度變化而造成的合束性能下降的情況。?