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[實用新型]一種多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室有效

專利信息
申請號: 201320881880.9 申請日: 2013-12-24
公開(公告)號: CN203715790U 公開(公告)日: 2014-07-16
發明(設計)人: 康偉;任建華;王躍棟;于學松;魏馳遠 申請(專利權)人: 天津英利新能源有限公司
主分類號: C30B29/06 分類號: C30B29/06;C30B28/06
代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 代理人: 孫春玲
地址: 301510 天津市濱海新區津漢公*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 多晶 坩堝 涂層 保護 烘干 存放
【權利要求書】:

1.一種多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:包括硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2),所述硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2)之間通過若干傳熱風機(3)連接,所述坩堝存放室(2)內放置有若干坩堝放置臺(4),所述坩堝存放室(2)的墻壁上設置有除濕機(5)。

2.根據權利要求1所述的多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:所述硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2)內部都設置有溫度感應器和濕度感應器,并且都設置有進門和出門。

3.根據權利要求1或2所述的多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:所述硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2)的墻壁由保溫材料制成。

4.根據權利要求2所述的多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:所述坩堝存放室(2)的進門和出門都為上下推拉門。

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