[實用新型]一種多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室有效
| 申請號: | 201320881880.9 | 申請日: | 2013-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN203715790U | 公開(公告)日: | 2014-07-16 |
| 發明(設計)人: | 康偉;任建華;王躍棟;于學松;魏馳遠 | 申請(專利權)人: | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司: | 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 | 代理人: | 孫春玲 |
| 地址: | 301510 天津市濱海新區津漢公*** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 坩堝 涂層 保護 烘干 存放 | ||
1.一種多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:包括硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2),所述硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2)之間通過若干傳熱風機(3)連接,所述坩堝存放室(2)內放置有若干坩堝放置臺(4),所述坩堝存放室(2)的墻壁上設置有除濕機(5)。
2.根據權利要求1所述的多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:所述硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2)內部都設置有溫度感應器和濕度感應器,并且都設置有進門和出門。
3.根據權利要求1或2所述的多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:所述硅錠冷卻室(1)和坩堝存放室(2)的墻壁由保溫材料制成。
4.根據權利要求2所述的多晶硅坩堝涂層保護烘干存放室,其特征在于:所述坩堝存放室(2)的進門和出門都為上下推拉門。
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