[實用新型]LED曝光機外設高效過濾供氣系統有效

申請號：	201320880253.3	申請日：	2013-12-30
公開（公告）號：	CN203689000U	公開（公告）日：	2014-07-02
發明（設計）人：	張方德;王玉璋;林炳巧	申請（專利權）人：	浙江歐視達科技有限公司
主分類號：	G03F7/20	分類號：	G03F7/20;B01D46/00
代理公司：	杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213	代理人：	吳秉中
地址：	325011 浙江省溫州市溫州高新技***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	led 曝光外設高效過濾供氣系統
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【權利要求書】：

1.一種LED曝光機外設高效過濾供氣系統，包括機架，其特征在于：所述機架頂部設有防塵板（1），密封艙室（6）設于機架中上部，真空泵（2）設置于密封艙室（6）的下方，所述密封艙室（6）的左右兩側內壁設有風機（3），所述風機（3）具有設于密封艙室外的風機散熱口（4），所述密封艙室（6）的上方和背面設有兩塊高效空氣過濾器（5）。

2.如權利要求1所述的LED曝光機外設高效過濾供氣系統，其特征在于：所述風機散熱口（4）通過物理壓迫方式實現密封。

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