[實用新型]一種單晶爐導氣管

有效

• 申請號: 201320880182.7
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN203653744U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 田迎新;馬志偉;邵國亮;李超
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 米文智

技術領域

本實用新型屬于單晶爐排氣技術領域。

背景技術

單晶硅是生產單晶硅太陽能電池的基礎原料，而單晶硅必須利用硅原料經過一系列的工藝方法生產得到；目前單晶硅普遍采用直拉法，以單晶爐為主要設備來進行生產。單晶爐是在惰性氣體環境中，采用石墨電阻加熱器，將硅材料熔化，并采用直拉法生長無位錯單晶的設備。決定拉晶工藝好壞的重要因素之一是單晶爐熱場的潔凈度，熱場內的氣體環境對整個熱場的潔凈度起著至關重要的作用，如果熱場內的氣體不能順暢的排出，當高溫的硅蒸汽和一氧化硅蒸汽遇到溫度較低的導氣管及排氣口時，便凝結成一層黃色物質，當黃色凝結物較多時便會阻塞導氣管，造成排氣不暢；當單晶爐在拉制單晶棒時，如果發生排氣不暢，熔化的硅液表面揮發出的雜質不能順利排出爐外，凝結在熱場內部有可能造成斷棱，影響拉晶成品率。

因此，單晶爐的排氣裝置對拉晶起著關鍵的作用。單晶爐排氣路線是氬氣經過副室，進入主爐室，帶走拉晶過程中揮發雜質，經過導氣管--開關閥--節流閥-濾塵筒-電磁閥進入真空泵，最后從排氣管道排出。現有單晶爐結構中，導氣管一般分導氣直管和彎管兩部分，兩部分采用接觸式平裝，安裝過程中先將導氣直管放入爐底保溫氈的開孔中，再將包裹著保溫軟氈的導氣彎管憑操作工的感覺和經驗進行安裝，通過微量旋轉下保溫桶，直到感覺導氣彎管和導氣直管銜接到一起；導氣管的這種結構和安裝方式極易導致導氣直管和彎管不能完全對正即銜接錯位，兩部分的導氣通道不同軸，這又會帶來兩個方面的問題：一，導氣不暢，熱場內的高溫氣體攜帶大量氣體雜質流經不同軸的導氣管，首先會沉積在錯位處，當導氣管中有雜質首先沉積后，后續大量高溫氣體流經低溫的此處時會相繼產生氣象沉積，使此處雜質越來越多，最終堵塞排氣通道；二，由于錯位的存在，在真空泵的作用下，會使熱場外部分氣體從此處抽入排氣管道，擾亂熱場中的氣氛，對拉晶也會造成影響。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種單晶爐導氣管，結構合理簡單、安裝便捷，能夠有效保證導氣彎管和導氣直管的同軸性，保證氣體的順暢排出，為單晶硅的產品質量提供保障。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：

一種單晶爐導氣管，包括導氣彎管和導氣直管，所述導氣彎管為一端開口的橫向管道，其底面為平面；所述導氣彎管的底面上設有圓孔；所述導氣直管為豎直圓管，其頂端外圓周上均勻分布著扣爪Ⅰ；所述圓孔上分布著與扣爪Ⅰ相適配的凹槽Ⅰ；所述導氣直管為伸縮管。

進一步，所述導氣彎管為方形管；

所述扣爪Ⅰ和凹槽Ⅰ的數目為3-9個；

優選的，所述導氣直管包括導氣直管上管和導氣直管下管兩部分；所述導氣直管上管的下端外圓周上均勻分布著扣爪Ⅱ；所述導氣直管下管的頂面開孔并設有與扣爪Ⅱ適配的凹槽Ⅱ；所述扣爪Ⅱ和凹槽Ⅱ的數目為3-9個。

使用時，導氣直管的導氣直管上管和導氣直管下管卡接在一起，所述扣爪Ⅱ穿過凹槽Ⅱ后，旋轉導氣直管下管，使得扣爪Ⅱ卡在導氣直管下管的頂面上，且導氣直管的上下兩部分能相對滑；同樣地，所述導氣直管頂端與導氣彎管底面卡接在一起，所述扣爪Ⅰ穿過凹槽Ⅰ后，旋轉導氣直管，使扣爪Ⅰ卡在導氣彎管的底面上。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：導氣彎管和導氣直管采用組合式安裝，兩部分之間采用扣爪對接形式，使得兩部分銜接穩固，操作靈活方便；導氣直管采用可滑動伸縮套管設計，導氣直管的上下兩部分也采用卡扣對接形式，且使用時上下兩部分能相對滑動但不會脫離開，保證了導氣管道與單晶爐體排氣管路的銜接順暢；本實用新型結構合理簡單、安裝便捷，能夠有效保證導氣彎管和導氣直管的同軸性，保證氣體的順暢排出，為單晶硅的產品質量提供保障。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型導氣彎管部分的仰視圖；

圖3是本實用新型導氣直管部分的俯視圖；

圖4是設置有本實用新型實施例所提供一種單晶爐導氣管的結構示意圖；

其中，1、石墨堝托，2、下保溫桶，3、加熱器及其固定螺母，4、石墨電極，5、電極石墨護套，6、電極石英護套，7、石墨堝桿，8、下保溫桶保溫氈，9、導氣彎管，10、堝桿護套，11、爐底護盤，12、導氣直管，13單晶爐爐底，14、爐底保溫氈，13、導氣直管上管，14、導氣直管下管，15、扣爪Ⅱ，16、扣爪Ⅰ，17、凹槽Ⅰ，18、圓孔，19、凹槽Ⅱ。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。