[實用新型]一種PECVD石英管鎖扣保護罩

有效

• 申請號: 201320879853.8
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN203659907U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 楊浩
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C16/44
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 米文智

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池生產技術領域，特別涉及一種石英管鎖扣的保護裝置。

背景技術

等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD，Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition）是太陽能硅電池生產中一個必不可少的工序，該過程是通過等離子增強化學氣相沉積在硅片表面形成一層起到減反射和鈍化效果的氮化硅薄膜，其工藝反應通常在鏈式PECVD工藝腔室內進行。

在鏈式PECVD工藝腔室內設有石英管，而且石英管的兩端通過鎖扣固定在生產設備的內部。其中，鎖扣上均勻分布有六個圓孔，便于扳手鎖緊鎖扣，使其穩定固定在生產設備的內部。在反應沉積過程中，在工藝腔室中產生的氮化硅沉積在電池片表面上的同時，一部分會沉積在連接石英管的鎖扣上，由于鎖扣整個是裸露在外面的，長時間的鍍膜，沉積在鎖扣上面的氮化硅會越來越多，最終將鎖扣全部覆蓋，以致無法正常拆卸、安裝。

現有技術中經常采用電鉆鋼銼打磨或氫氟酸清洗的方法來處理鎖扣表面的氮化硅，但是這種方法會給鎖扣造成嚴重的損壞。還有一種方法是用耐高溫膠帶將鎖扣纏繞起來，鎖扣上面的用于拆卸的孔洞被保護起來，這樣氮化硅無法覆蓋在鎖扣表面，等到拆卸鎖扣時，可將耐高溫膠帶撕掉；采用這種方法每次都要使用大量的膠帶，而且120小時的維護周期后，覆蓋鎖扣的耐高溫膠帶會被厚厚的一層氮化硅覆蓋，膠帶粘性很大，不容易撕下來，若使用鉗子又容易將膠帶撕斷，拆卸同樣有一定的難度，不容易清理干凈，而且費時。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種PECVD石英管鎖扣保護罩，操作簡單，安裝和拆卸方便，能夠有效阻擋氮化硅在鎖扣上的附著，吸附在保護罩上面的氮化硅易于清理，有助于減少維護時間。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：一種PECVD石英管鎖扣保護罩，包括上下連接并相通的空心狀梯形圓臺Ⅰ和梯形圓臺Ⅱ；所述梯形圓臺Ⅰ和梯形圓臺Ⅱ為一整體結構，所述梯形圓臺Ⅰ的下底邊與梯形圓臺Ⅱ的上底邊重合，且兩者中心線在一條直線上。

所述梯形圓臺Ⅰ的上底內徑φ1為20~22mm，下底內徑φ2為33~35mm；所述梯形圓臺Ⅱ的下底內徑φ3為35~37mm；所述梯形圓臺Ⅰ高l1為13~17mm；所述梯形圓臺Ⅱ高l2為48~52mm；

所述保護罩為鋁質薄片，其厚度為0.5~1.5mm。

優選地，所述梯形圓臺Ⅰ的上底內徑φ1為21mm，下底內徑φ2為34mm；所述梯形圓臺Ⅱ的下底內徑φ3為36mm；所述梯形圓臺Ⅰ高l1為15mm；所述梯形圓臺Ⅱ高l2為50mm。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：保護罩的整體形狀與石英管鎖扣的外部形狀相適配，直接套在石英管鎖扣上即可，安裝方便，不易脫落；保護罩采用鋁質薄片制作，整個保護罩比較柔軟，吸附在保護罩上面的氮化硅易于清理，且制作成本低；本實用新型能夠有效地阻擋氮化硅在鎖扣上的附著，避免鎖扣被堵塞；操作簡單，安裝和拆卸方便，吸附在保護罩上面的氮化硅易于清理，有助于減少維護時間。

附圖說明

圖1是本實用新型的側視圖；

圖2是本實用新型的俯視圖；

其中，1、梯形圓臺Ⅰ，2、梯形圓臺Ⅱ。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖1和圖2所示，一種PECVD石英管鎖扣保護罩，包括上下連接并相通的空心狀梯形圓臺Ⅰ1和梯形圓臺Ⅱ2；所述梯形圓臺Ⅰ1和梯形圓臺Ⅱ2為一整體結構，所述梯形圓臺Ⅰ1的下底邊與梯形圓臺Ⅱ2的上底邊重合，且兩者中心線在一條直線上；所述保護罩為鋁質薄片。

保護罩的整體形狀與石英管鎖扣的外部形狀相適配，保護罩的尺寸根據石英管鎖的尺寸進行設計；使用時，首先將石英管從保護罩中心穿過，然后將保護罩套在石英管的鎖扣上，鎖扣被全部覆蓋。

實施例1

所述梯形圓臺Ⅰ1的上底內徑φ1為21mm，下底內徑φ2為34mm；所述梯形圓臺Ⅱ2的下底內徑φ3為36mm；所述梯形圓臺Ⅰ1的高度l1為15mm；所述梯形圓臺Ⅱ2的高度l2為50mm；所述保護罩厚度為1mm；本實施例是根據石英管鎖扣尺寸設計的優選尺寸，保護罩與石英管鎖扣之間達到最佳適配。

實施例2