[實(shí)用新型]干燥裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320879122.3 | 申請日： | 2013-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN203798088U | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李強(qiáng);杜亮 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | F26B9/06 | 分類號： | F26B9/06;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時(shí)云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 干燥 裝置 | ||
1.一種干燥裝置，其特征在于，包括：干燥槽本體、隔熱板、一對可閉合的干燥槽蓋子以及加熱裝置，所述加熱裝置設(shè)置于所述干燥槽蓋子上，所述隔熱板固定于所述干燥槽蓋子的下方，并隨所述干燥槽蓋子一起動作以密封所述干燥槽本體。?
2.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥裝置還包括加熱控溫系統(tǒng)以及感知所述干燥槽蓋子開合的位置傳感器，所述位置傳感器設(shè)置于所述干燥槽蓋子上，所述加熱控溫系統(tǒng)與所述位置傳感器連接并根據(jù)所述位置傳感器的信號控制所述加熱裝置加熱。?
3.如權(quán)利要求2所述的干燥裝置，其特征在于，所述加熱控溫系統(tǒng)包括繼電器開關(guān)電路和加熱主電路，所述繼電器開關(guān)電路根據(jù)所述位置傳感器的信號控制加熱主電路的加熱開關(guān)打開或閉合以控制所述加熱裝置是否加熱。?
4.如權(quán)利要求2所述的干燥裝置，其特征在于，所述干燥槽蓋子包括蓋子本體、軌道和軌道控制系統(tǒng)，所述軌道設(shè)置在所述蓋子本體的下方，所述軌道控制系統(tǒng)控制所述蓋子本體沿所述軌道滑行。?
5.如權(quán)利要求4所述的干燥裝置，其特征在于，所述蓋子本體的截面形狀為直角梯形，所述加熱裝置設(shè)置于所述位置傳感器的上方。?
6.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括一加熱電阻，所述加熱電阻與所述加熱控溫系統(tǒng)連接。?
7.如權(quán)利要求6所述的干燥裝置，其特征在于，所述加熱電阻的材料是鎳鉻合金或鎳鉻鉑合金。?
8.如權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于，所述隔熱板為矩形板，所?
述隔熱板的導(dǎo)熱系數(shù)小于0.020W/m·k。?
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