[實(shí)用新型]光罩傳送夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320878776.4
• 申請(qǐng)日: 2013-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN203644751U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳葦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種光罩傳送夾具。

背景技術(shù)

光罩（mask）是在光刻工藝中不可缺少的一部分，光罩質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響著工廠半導(dǎo)體制造能力強(qiáng)弱，那么除了在光罩制造時(shí)提升工藝水平，如何在制造完成后防止光罩受損也是一個(gè)重要的問題，尤其是一些復(fù)雜的光罩，通常也不具有備份，因此，對(duì)光罩在平時(shí)加以保護(hù)就顯得尤為重要。

通常，光罩自制作完成后，就面臨著各種被轉(zhuǎn)移，例如從一個(gè)光罩盒（box）移到另一個(gè)之中，或者在光罩盒與晶盒（cassette）之間轉(zhuǎn)移，以及為了去除表面顆粒雜質(zhì)（particle）或者由于在操作中的不當(dāng)所附著的指紋等，都需要將光罩利用器件取出。

如圖1所示，光罩10放置在晶盒（cassette）20中，當(dāng)需要將其移動(dòng)時(shí)，利用夾具30，首先需要將其移出一部分。然而，如圖2所示，很容易發(fā)生光罩一端脫離支撐架的情況，從而會(huì)歪斜甚至掉落，這就很容易導(dǎo)致光罩破損。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于，提供一種光罩傳送夾具，以降低在傳送光罩時(shí)可能造成光罩破損的幾率。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種光罩傳送夾具，用于光罩的轉(zhuǎn)移，包括手柄，一對(duì)內(nèi)手臂及一對(duì)外手臂，所述外手臂包圍所述內(nèi)手臂，所述一對(duì)內(nèi)手臂與一對(duì)外手臂皆設(shè)置于所述手柄的同一端兩側(cè)。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂和外手臂皆包括垂直所述手柄的第一部分及垂直所述第一部分的第二部分，所述第一部分的一端連接所述手柄，另一端與所述第二部分的一端相連接，所述第二部分的另一端設(shè)置有接觸端。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述第一部分與手柄通過鉸接件連接，所述第一部分以所述鉸接件為軸繞所述手柄具有0～20°的旋轉(zhuǎn)空間。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述手柄上設(shè)置有與內(nèi)手臂和外手臂相對(duì)應(yīng)的內(nèi)手臂鎖和外手臂鎖。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述接觸端為臺(tái)階狀結(jié)構(gòu)。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂的第二部分之間的間距為160mm～180mm，所述內(nèi)手臂的第二部分的長度為90mm～120mm。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述外手臂的第二部分之間的間距為200mm～240mm，所述外手臂的第二部分的長度為130mm～160mm。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂和外手臂的接觸端在遠(yuǎn)離第二部分的一端對(duì)齊。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述第二部分的另一端低于所述手柄所在平面。

可選的，對(duì)于所述的光罩傳送夾具，所述內(nèi)手臂的第二部分與所述手柄所在平面的夾角為140°～150°，所述外手臂的第二部分與所述手柄所在平面的夾角為170°～180°。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的光罩傳送夾具，設(shè)置有內(nèi)手臂與外手臂，從而在夾持光罩時(shí)，具有更多的夾持點(diǎn)，能夠很好的穩(wěn)定光罩，防止在移動(dòng)過大時(shí)光罩的掉落，防止了光罩破損的情況發(fā)生。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中光罩的一種放置示意圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)中光罩的一種放置示意圖；

圖3a為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具的俯視圖；

圖3b為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具的側(cè)視圖；

圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具外手臂張開時(shí)的俯視圖；

圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例中光罩傳送夾具內(nèi)外手臂皆張開的俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的光罩傳送夾具進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。

為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。