[實用新型]一種提高電極顏色一致性的結構設計

有效

• 申請號: 201320871557.3
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN203674252U
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 李珅;李曉波;王義虎;甄珍珍;王靜輝;肖國華;孟麗麗
• 申請（專利權）人: 同輝電子科技股份有限公司
• 主分類號: H01L33/40
• 分類號: H01L33/40;H01L33/38
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 米文智

技術領域

本實用新型涉及一種半導體器件技術領域，尤其涉及一種提高電極顏色一致性的結構設計。

背景技術

發光二極管（Light?Emitting?Diode，簡稱LED），它能將電能轉化為光能。LED光源屬于綠色光源，具有節能環保、壽命長、能耗低、安全系數高等優點，被廣泛應用于照明和背光領域。

GaN基LED由于芯片工藝在制作電極前進行過刻蝕工藝形成裸露的N型區，會造成P、N型區形成高度差，同時P區存在電流擴展層的，這就導致制作出的LED芯片電極顏色不一致，造成P、N金屬電極焊盤異色現象，嚴重影響了封裝廠自動作業。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種提高電極顏色一致性的結構設計，使N電極和P電極具有同樣高度，從而使N、P電極焊盤顏色一致，提高了封裝廠自動作業速度。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：一種提高電極顏色一致性的結構，該二極管外延片結構設計從下向上的順序依次為藍寶石襯底、N型半導體層、發光層、P型半導體層和電流擴展層，N型金屬電極連接N型半導體層，P型金屬電極連接電流擴展層，其特征在于：所述N型金屬電極的頂端與所述P型金屬電極的頂端水平高度一致。

優選的，所述N型金屬電極內部有刻蝕預留層，所述刻蝕預留層與所述電流擴展層水平高度一致。

優選的，所述N型金屬電極是金屬復合電極，材質是Cr/Pt/Au，其厚度為25nm/50nm/1500nm，所述P型金屬電極是金屬復合電極，材質是Cr/Pt/Au，其厚度為25nm/50nm/1500nm。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：本實用新型通過將N、P電極制備成同樣的高度，解決了傳統LED芯片N、P電極高度不一致帶來的異色問題，從而使N、P電極焊盤明暗場顏色一致，高度一致，粗糙度一致，極大地提高了封裝廠自動作業的速度，解決了焊線困難的問題。

附圖說明

圖1是本實用新型整體結構示意圖；

其中，藍寶石襯底1，N型半導體層2,?發光層3,?P型半導體層4,?電流擴展層5,?N型金屬電極6,?P型金屬電極7,?刻蝕預留層8。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖1所示，本實用新型是一種提高電極顏色一致性的結構，該二極管外延片結構設計從下向上的順序依次為藍寶石襯底1、N型半導體層2、發光層3、P型半導體層4和電流擴展層5，N型金屬電極6連接N型半導體層2，P型金屬電極7連接電流擴展層5，其特征在于：所述N型金屬電極6的頂端與所述P型金屬電極7的頂端水平高度一致；所述N型金屬電極6內部有刻蝕預留層8，所述刻蝕預留層8底端與N型半導體層2連接，其頂端與所述電流擴展層5水平高度一致；所述N型金屬電極6是金屬復合電極，材質是Cr/Pt/Au，其厚度為25nm/50nm/1500nm，所述P型金屬電極7是金屬復合電極，材質是Cr/Pt/Au，其厚度為25nm/50nm/1500nm。

本實用新型可通過以下步驟制備而成，

（1）在藍寶石基板200上利用金屬有機化合物化學氣相沉淀（英文縮寫為MOCVD）外延層，其從下到上依次包括N型半導體層2、發光層3、P型半導體層4。??

（2）在該外延層上，利用光刻、腐蝕和干蝕刻技術，從P型半導體層4表面往下蝕刻出部分裸露的N型半導體層2。

（3）采用電子束蒸發在P型半導體層4上表面形成ITO?透明電流擴展層5，其厚度250nm。

（4）采用光刻、電子束蒸發和金屬剝離技術，在所述ITO電流擴展層5和裸露的N型半導體層2上蒸發金屬電極。

本實用新型通過將N、P電極制備成同樣的高度，解決了傳統LED芯片N、P電極高度不一致帶來的異色問題，從而使N、P電極焊盤明暗場顏色一致，高度一致，粗糙度一致，極大地提高了封裝廠自動作業的速度，解決了焊線困難的問題。?