[實用新型]一種玻璃基板搬送裝置

有效

• 申請號: 201320871442.4
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN203753949U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 裴緒章
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 馬廷昭

技術領域

本實用新型有關一種玻璃基板搬送裝置，特別是指一種可有效防止玻璃基板彎曲下垂的玻璃基板搬送裝置。

背景技術

目前，在FPD（Flat Panel Display，平板顯示器）的制造工廠中，玻璃基板的尺寸越來越大，越來越薄。由于玻璃基板大且薄，機械手臂1承托基板時，基板彎曲量很大，當機械手臂1從卡匣（cassette pitch）A中取放玻璃基板時，常因為玻璃基板的彎曲變形，導致玻璃基板破碎，同時由于基板彎曲量變大，機械手臂1就需要更大的活動空間，如圖1與圖2所示，因此，這就要求卡匣A變大，從而也導致廠房的高度變高，增加了工廠的建筑成本以及運營成本。

為避免由于玻璃基板完曲變形造成撞碎，目前業界主要采用以下三種方式：

1.增加機械手臂叉耙數量，其缺點是費用增加，叉耙數量增多，導致整體水平度下降，與設備干涉較多；

2.增加卡匣高度，其缺點是廠房高度需增加，從而導致建筑成本及運營成本增加；

3.采用特殊機械手臂來降低玻璃基板下垂的影響，如圖3所示，在每個叉耙上設有多個與叉耙垂直的條狀結構，形成十字交叉結構，這種方式的缺點是導致費用增加，叉耙整體水平度下降，與設備干涉較多。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種結構簡單、生產成本低且防止玻璃基板彎曲下垂的玻璃基板搬送裝置。

為達到上述目的，本實用新型提供一種玻璃基板搬送裝置，其包括有一機械手臂，該機械手臂上具有至少兩個排列設置的叉耙，在至少一個叉耙上設有進氣管道，該進氣管道上設有多個排氣孔，該排氣孔開口方向正對著相鄰叉耙，叉耙上的進氣管道連接至一能輸出高壓氣流的氣流輸出裝置，相鄰兩個叉耙之間形成高壓氣簾。

與設有所述進氣管道的叉耙相鄰的叉耙上設有氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個氣流接收孔，叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，叉耙上的所述氣流收集管道連接至一氣流回收裝置，該氣流回收裝置通過管路連接至所述氣流輸出裝置。

所述叉耙為三個，在其中一側的叉耙與位于中間的叉耙上均設有所述進氣管道，該進氣管道上設有多個所述排氣孔，位于中間的叉耙與相鄰的另一側的叉耙上均設有所述氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個氣流接收孔，其中一側叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰中間叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，中間叉耙上進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰另一側叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，每一叉耙上的排氣孔開口方向相同。

所述叉耙為四個，在其中第二個叉耙與相隔的側邊的第四個叉耙上均設有所述進氣管道，該進氣管道上設有多個所述排氣孔，在與該第二個叉耙相鄰的第三個叉耙與側邊的第一個叉耙上均設有氣流收集管道，該氣流收集管道上設有多個所述氣流接收孔，其中該第二個叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰第一個叉耙與第三個叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置，側邊第四個叉耙上的進氣管道上的排氣孔開口方向與相鄰的第三個叉耙上氣流收集管道的氣流接收孔開口方向相向設置。

各所述叉耙設置于同一平面上，相鄰兩個叉耙之間形成的高壓氣簾為水平高壓氣簾。

各所述叉耙相互平行設置。

在所述氣流回收裝置與所述氣流輸出裝置之間設置有氣流過濾裝置。

所述氣流輸出裝置上設有壓力調節單元。

所述氣流接收孔安裝有定向閥門。

所述氣流輸出裝置連接一為其補充氣流的工廠高壓空氣系統。

本實用新型的玻璃基板搬送裝置在使用時，由于高壓氣簾對玻璃基板的承托，有效降低了玻璃基板下垂導致的取放基板的碎片問題。

附圖說明

圖1為現有技術中機械手臂搬送玻璃基板的實施狀態圖；

圖2為現有技術中機械手臂搬送玻璃基板的俯視圖；

圖3為現有技術中另一種機械手臂搬送玻璃基板的俯視圖；

圖4為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例一結構示意圖；

圖5為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例二結構示意圖；

圖6為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例三結構示意圖；

圖7為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例四結構示意圖；

圖8為本實用新型玻璃基板搬送裝置的實施例五結構示意圖。

具體實施方式