[實(shí)用新型]可簡化被鍍物抓取的濺射機(jī)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320870447.5
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN203794975U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳金龍;徐永桓
• 申請（專利權(quán)）人: 亮杰科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11301
• 代理人: 吳懷權(quán)

1.一種可簡化被鍍物抓取的濺射機(jī)裝置，其包含：?

一個濺射腔，該濺射腔為一個高真空的腔體；該濺射腔包含有一個腔門，該腔門用于取出或置入被鍍物于該濺射腔內(nèi)；?

其特征在于，還包含：一個受鍍轉(zhuǎn)盤，該受鍍轉(zhuǎn)盤包含一個位于該濺射腔之內(nèi)的盤體，該盤體上設(shè)有至少一個穿孔，所述穿孔分別用于安置被鍍物；其中該腔門朝向于該受鍍轉(zhuǎn)盤的位置；?

一個濺鍍槍，靶材安裝在該濺鍍槍的投射端，該投射端位于該濺射腔內(nèi)，而該濺鍍槍的另一端則延伸到該濺射腔外，該受鍍轉(zhuǎn)盤位于該被鍍物及該濺鍍槍之間；?

該被鍍物安裝在該受鍍轉(zhuǎn)盤的所述穿孔內(nèi)，且對齊該濺鍍槍的靶材；該受鍍轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，令該被鍍物隨該盤體轉(zhuǎn)動依次對齊該該濺鍍槍中的靶材；?

一個推送軸，推送軸安裝在該濺射腔的一側(cè)，該推送軸相對于該受鍍轉(zhuǎn)盤，且該推送軸與該濺鍍槍位于同一側(cè)；該推送軸的軸向位置指向該腔門；該推送軸前后軸向移動，以便將該被鍍物向前推出該受鍍轉(zhuǎn)盤，并向該腔門移動從而移出至腔體外；以及?

一個輸送裝置，連接于該腔門，該輸送裝置用于將該被鍍物從該濺射腔取出。?

2.如權(quán)利要求1所述的可簡化被鍍物抓取的濺射機(jī)裝置，其特征在于，該腔門的門體平行于該受鍍轉(zhuǎn)盤，以利于從該受鍍轉(zhuǎn)盤上攫取該被鍍物并送出該濺射腔外。?

3.如權(quán)利要求1所述的可簡化被鍍物抓取的濺射機(jī)裝置，其特征在于，該輸送裝置包含：?

一個前輸送腔，該前輸送腔為一個可密閉態(tài)抽真空的腔體，該前輸送腔能夠連通該濺射腔的腔門；?

一個隔離閥，該隔離閥位于該前輸送腔的后方；以及?

一個后輸送腔，該后輸送腔位于該隔離閥的后方，通過該隔離閥與該前輸送腔隔離，該后輸送腔與該前輸送腔形成一個完整的腔體。?

4.如權(quán)利要求1所述的可簡化被鍍物抓取的濺射機(jī)裝置，其特征在于，該受鍍轉(zhuǎn)盤設(shè)有四個穿孔，所述穿孔分別用于安置一個該被鍍物。?

5.如權(quán)利要求1所述的可簡化被鍍物抓取的濺射機(jī)裝置，其特征在于，該受鍍轉(zhuǎn)盤還包含驅(qū)動機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動該受鍍轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，該驅(qū)動機(jī)構(gòu)包含一個轉(zhuǎn)動軸，該轉(zhuǎn)動軸的一端固定在該受鍍轉(zhuǎn)盤的中心部位，另一端延伸出該濺射腔之外，并連結(jié)一個位于濺射腔外的驅(qū)動器，該驅(qū)動器使該轉(zhuǎn)動軸徑向轉(zhuǎn)動而帶動該受鍍轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)。?

6.如權(quán)利要求1所述的可簡化被鍍物抓取的濺射機(jī)裝置，其特征在于，該靶材為金屬或玻璃材料，該靶材受熱源驅(qū)動后，其粒子脫離該靶材而射出至該被鍍物。?