[實用新型]慢提拉機構

有效

• 申請號: 201320869693.9
• 申請日: 2013-12-26
• 公開（公告）號: CN203624977U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 喬軍
• 申請（專利權）人: 濰坊達而高電子技術有限公司
• 主分類號: B66F11/00
• 分類號: B66F11/00
• 代理公司: 濰坊正信專利事務所 37216
• 代理人: 王紀辰

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種將裝有晶圓的工裝籃從清洗槽中緩慢升起的慢提拉機構。

背景技術

在半導體制造過程中，有一道工序為清洗工序。在清洗槽內將晶圓清洗之后，需要將裝有晶圓的工裝籃從清洗槽中取出，目前采用絲杠慢提拉機構將工裝籃升起、取出，絲杠慢提拉機構為運用電機驅動絲杠機構，絲桿機構包括由電機驅動的絲桿，通過絲桿的轉動，使提拉擱架帶著裝有晶圓的工裝籃緩慢提升。但是運用絲杠機構的慢提拉機構存在以下缺點：1、絲杠機構的精度高、成本較高，而且主要用于精密位移場合；2、絲杠機構未設有位置閾值，需手動啟停。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種慢提拉機構，該慢提拉機構的各部件成本低，從而降低了半導體制造的成本。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：一種慢提拉機構包括兩個相互平行的導向滑軌，兩個所述導向滑軌均豎向設置在清洗槽的外側面，每個所述導向滑軌上均設有一塊滑塊，兩個所述滑塊之間連接有連接座，所述連接座的上表面與提拉擱架位于清洗槽之外的一端固定連接；還包括控制所述提拉擱架升降的曲柄連桿機構，所述曲柄連桿機構包括曲柄，所述曲柄的一端與降速電機的輸出軸傳動連接，所述曲柄的另一端鉸接連桿的一端，所述連桿的另一端與所述連接座鉸接連接。

優選方式為，在所述導向滑軌的一側設有若干用于感知所述滑塊位置的位置傳感器，每個所述位置傳感器與PLC控制器電連接，所述PLC控制器還與降速電機電連接。

優選方式為，所述位置傳感器為三個，三個所述位置傳感器由上到下依次設置在所述導向滑軌的一側面。

采用上述技術方案后，本實用新型的有益效果是：由于本實用新型所述的慢提拉機構包括兩個相互平行的導向滑軌，兩個導向滑軌均豎向設置在清洗槽的外側面，每個導向滑軌上均設有一塊滑塊，兩個滑塊之間連接有連接座，連接座的上表面與提拉擱架位于清洗槽之外的一端固定連接；還包括控制所述提拉擱架升降的曲柄連桿機構，該曲柄連桿機構包括曲柄，該曲柄的一端與降速電機的輸出軸傳動連接，曲柄的另一端鉸接連桿的一端，該連桿的另一端與連接座鉸接連接。本實用新型的降速電機的輸出軸旋轉，帶動曲柄旋轉，曲柄通過連桿帶動連接座升降，上述過程為曲柄將曲線運動變成直線運動的過程。連接座帶動兩塊滑塊沿導向滑軌向上移動，兩塊滑塊帶動提拉擱架向上移動，從而使提拉擱架帶著裝有晶圓的的工裝籃緩慢上升，工裝籃在緩慢上升的過程中運用水的張力，把晶圓表面的絕大部分水液處理掉，從而大大減小了晶圓表面的帶液量，縮短了晶圓的干燥處理時間，提高了晶圓的干燥效率。同時目前使用的絲桿慢提拉機構的精度高，使其成本高，而本實用新型的曲柄連桿機構的精度不高，從而使其的成本低，節省了晶圓的制造成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的慢提拉機構的立體結構示意圖；

圖2是本實用新型的慢提拉機構的主視圖；

圖3是本實用新型的慢提拉機構的左視圖；

圖中：1—降速電機、2—曲柄、3—連桿、4—導向滑軌、5—滑塊、6—連接座、7—提拉擱架、8—清洗槽、9—位置傳感器。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

如圖1、圖2和圖3所示，一種慢提拉機構，包括兩個相互平行的導向滑軌4，兩個導向滑軌4均豎向設置在清洗槽8的外側面，每個導向滑軌4上均設有一塊滑塊5，兩個滑塊5之間連接有連接座6，該連接座6的上表面與提拉擱架7位于清洗槽8之外的一端固定連接；還包括控制提拉擱架7升降的曲柄連桿機構，該曲柄連桿機構包括曲柄2，該曲柄2的一端與降速電機1的輸出軸傳動連接，曲柄2的另一端鉸接連桿3的一端，該連桿3的另一端與連接座6鉸接連接。在導向滑軌4的一側設有用于感知滑塊5位置的最高位置傳感器9、中間位置傳感器9和最低位置傳感器9，三個位置傳感器9由上到下依次設置，同時三個位置傳感器9與PLC控制器，該PLC控制器還與降速電機1電連接。