[實用新型]一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320868492.7 | 申請日： | 2013-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN203700168U | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王慧;向在奎;聶蘭艦;邵竹峰;張昕;王蕾 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國建筑材料科學研究總院 |
| 主分類號： | C03B25/00 | 分類號： | C03B25/00;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王偉鋒;劉鐵生 |
| 地址： | 100024*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 尺寸 石英玻璃 精密 氣氛 調(diào)節(jié) 退火爐 | ||
1.一種大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，該退火爐包括：支架、爐體、底座、驅(qū)動裝置、氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)以及溫度控制系統(tǒng)；其中，
所述爐體安置在所述支架上，且所述爐體內(nèi)部中空以形成爐膛，所述爐膛內(nèi)壁設(shè)置有加熱層，所述加熱層與所述爐膛內(nèi)壁之間設(shè)置有保溫層；
所述底座安置于所述爐體的正下方，且滑動連接于所述支架，所述底座上依次鋪設(shè)有保溫層和加熱層，所述底座上還設(shè)置有主軸，所述主軸穿過所述底座以及所述底座上的保溫層和加熱層，所述主軸的上端連接有托盤；
所述驅(qū)動裝置分別連接所述底座、所述主軸，用于驅(qū)動所述底座沿著所述支架垂向滑動以及驅(qū)動所述主軸旋轉(zhuǎn)；
所述氣氛調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括進氣通道、出氣通道以及壓力、流量調(diào)節(jié)器；所述進氣通道、出氣通道設(shè)置于所述爐體上，所述壓力、流量調(diào)節(jié)器設(shè)置于所述進氣通道上；
所述溫度控制系統(tǒng)包括多個熱電偶以及控制器，所述多個熱電偶分散地設(shè)置于所述爐膛內(nèi)壁，所述控制器與所述多個熱電偶以及所述加熱層連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述爐膛為圓筒狀，且所述爐膛的內(nèi)徑為800-900mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述托盤上設(shè)置有用于使石英玻璃豎直錯位放置的樣品架。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述樣品架包括底板以及設(shè)置在底板上的多條平行的隔板，且所述隔板之間形成用于固定石英玻璃的槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述托盤與所述底座上加熱層的距離為5-8mm，所述托盤的材質(zhì)為耐高溫材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述出氣通道與所述進氣通道相對設(shè)置，其中，所述進氣通道與所述出氣通道不在同一水平上，且所述出氣通道與所述進氣通道之間的縱向距離為150-250mm，進氣通道與底座的縱向距離為15-50mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述加熱層內(nèi)包括多片所述纖維爐材，且所述纖維爐材內(nèi)設(shè)置有“S型”排布的電爐絲。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述底座上的加熱層為圓柱狀，且其直徑與所述爐膛內(nèi)壁的直徑一致。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述支架的側(cè)部設(shè)置有導(dǎo)軌，所述底座與所述導(dǎo)軌滑動連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的大尺寸石英玻璃精密氣氛調(diào)節(jié)退火爐，其特征在于，所述驅(qū)動裝置包括第一驅(qū)動裝置和第二驅(qū)動裝置；其中，
所述第一驅(qū)動裝置包括升降電機、齒輪以及鏈條，其中，所述升降電機安置于所述支架上，所述升降電機連接所述齒輪，所述齒輪設(shè)置在所述支架上，所述齒輪通過所述鏈條與所述底座連接，用于驅(qū)動所述底座沿著所述支架上的導(dǎo)軌垂向滑動。
所述第二驅(qū)動裝置包括減速電機以及與所述減速電機連接的變向齒輪；其中，所述減速電機設(shè)置在所述底盤的下方，所述變向齒輪連接所述主軸，用于驅(qū)動所述主軸旋轉(zhuǎn)。
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