[實(shí)用新型]陣列基板及顯示裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320865726.2 | 申請(qǐng)日: | 2013-12-25 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN203644757U | 公開(kāi)(公告)日: | 2014-06-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李田生;謝振宇 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L23/50 | 分類號(hào): | H01L23/50;G09G3/36 |
| 代理公司: | 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100176 北京市*** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 陣列 顯示裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種陣列基板及設(shè)有該陣列基板的顯示裝置。
背景技術(shù)
隨著顯示技術(shù)的不斷發(fā)展,薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display,簡(jiǎn)稱TFT-LCD)已在平板顯示領(lǐng)域中占據(jù)了主導(dǎo)地位。現(xiàn)在的TFT-LCD中越來(lái)越多的采用陣列基板行驅(qū)動(dòng)(Gate?driver?On?Array,GOA)技術(shù),即在陣列基板的板邊劃分GOA區(qū)域,在GOA區(qū)域中將柵極金屬與源漏極金屬通過(guò)貫穿柵絕緣層和有源層的過(guò)孔電連接,作為柵極驅(qū)動(dòng)電路的一部分,以實(shí)現(xiàn)更高的像素密集度(Pixel?Per?Inch,PPI)。同時(shí),為了節(jié)省陣列基板制造過(guò)程中掩膜版的使用次數(shù),通常利用一次掩膜版工藝在GOA區(qū)域形成貫穿柵絕緣層和有源層的過(guò)孔。例如,在高級(jí)超維場(chǎng)轉(zhuǎn)換(Advanced?super?Dimension?Switch,ADS)型陣列基板的制造過(guò)程中,利用一次掩膜版工藝在GOA區(qū)域刻蝕有源層和柵絕緣層,形成過(guò)孔,就可以只通過(guò)六次掩膜版工藝形成陣列基板。
本實(shí)用新型人在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的過(guò)程中發(fā)現(xiàn),現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問(wèn)題:如圖1a所示,圖中襯底基板1的左半部分為GOA區(qū)域,右半部分為顯示區(qū)域,在GOA區(qū)域的襯底基板1上形成有柵極金屬21、柵絕緣層3和有源層4,在柵絕緣層3和有源層4上刻蝕形成過(guò)孔5之后,還需要利用光刻膠10刻蝕掉除顯示區(qū)域中的薄膜晶體管(TFT)區(qū)域之外的有源層4。但是刻蝕有源層4的同時(shí),柵極金屬21也會(huì)被刻蝕,最后會(huì)形成貫穿柵絕緣層3和柵極金屬21的過(guò)孔5,如圖1b所示,這將使后續(xù)沉積的源漏極金屬只能與柵極金屬的側(cè)面接觸,由于源漏極金屬與柵極金屬之間的接觸面積太小,導(dǎo)致GOA區(qū)域中源漏極金屬與柵極金屬之間電連接的穩(wěn)定性較差的技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種陣列基板及設(shè)有該陣列基板的顯示裝置,解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于GOA區(qū)域的源漏極金屬與柵極金屬之間的接觸面積太小,導(dǎo)致源漏極金屬與柵極金屬之間電連接的穩(wěn)定性較差的技術(shù)問(wèn)題。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
本實(shí)用新型提供一種陣列基板,包括顯示區(qū)域和GOA區(qū)域,在所述GOA區(qū)域,從下至上依次包括柵極金屬、柵絕緣層和源漏極金屬,所述柵絕緣層上形成有缺口,所述柵極金屬上形成有過(guò)孔,且所述過(guò)孔位于所述缺口的范圍之內(nèi);
所述源漏極金屬在所述缺口中與所述柵極金屬的上表面電連接。
進(jìn)一步,所述顯示區(qū)域中的TFT區(qū)域,從下至上依次包括柵極、柵絕緣層、有源層、源極和漏極;
所述源極和所述漏極分別位于所述有源層的兩側(cè),并與所述有源層連接。
本實(shí)用新型還提供一種顯示裝置,包括上述的陣列基板。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型所提供的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn):在GOA區(qū)域的柵絕緣層上形成了面積較大的缺口,并且使柵極金屬上形成的過(guò)孔位于該缺口的范圍之內(nèi),那么在缺口中除過(guò)孔以外的部分就會(huì)露出柵極金屬的上表面,因此后續(xù)沉積的源漏極金屬就能夠在缺口中與柵極金屬露出的上表面接觸,從而顯著增大了源漏極金屬與柵極金屬之間的接觸面積,提高了GOA區(qū)域中源漏極金屬與柵極金屬之間電連接的穩(wěn)定性。
附圖說(shuō)明
為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。
圖1a和1b為現(xiàn)有的陣列基板的示意圖;
圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的陣列基板的示意圖;
圖3a至圖3j為本實(shí)用新型的實(shí)施例所提供的陣列基板的制造方法的制造過(guò)程示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述。
如圖2所示,本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的陣列基板包括顯示區(qū)域和GOA區(qū)域。在GOA區(qū)域,從下至上依次包括形成于襯底基板1上的柵極金屬21、柵絕緣層3和源漏極金屬61,柵絕緣層3上形成有缺口30,柵極金屬21上形成有過(guò)孔5,且過(guò)孔位5于缺口30的范圍之內(nèi),源漏極金屬61在缺口30中與柵極金屬21的上表面電連接。
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