[實用新型]激光整形裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320862313.9 | 申請日： | 2013-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN203630445U | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙裕興;林恩旻;汪昊;徐海賓 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州德龍激光股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/09 | 分類號： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 楊林潔 |
| 地址： | 215021 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 整形 裝置 | ||
1.一種激光整形裝置，其特征在于，所述激光整形裝置包括：
激光發(fā)射器；
擴(kuò)束鏡；
空間濾波器；
整形鏡；
聚焦鏡；
其中，所述空間濾波器在激光光束的光路上設(shè)置在所述激光發(fā)射器和所述聚焦鏡之間，所述整形鏡在激光光束的光路上設(shè)置在所述空間濾波器和所述聚焦鏡之間，所述激光光束通過所述整形鏡，將從所述激光發(fā)射器發(fā)出的高斯光束變?yōu)槠巾敼馐?/p>
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述整形鏡包括上表面和下表面，所述上表面刻有若干凹槽，所述凹槽呈方形設(shè)置，所述下表面設(shè)置為平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述若干凹槽呈同心設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述激光整形裝置還包括振鏡，所述振鏡在激光光束的光路上設(shè)置在所述整形鏡和所述聚焦鏡之間，所述振鏡可控制所述激光光束沿X、Y方向移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述激光整形裝置還包括反射鏡，所述反射鏡在激光光束的光路上設(shè)置在所述激光發(fā)射器和所述空間濾波器之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述反射鏡的數(shù)量為兩個。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述擴(kuò)束鏡在激光光束的光路上設(shè)置在所述激光發(fā)射器與所述反射鏡之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述空間濾波器的小孔直徑為4.2mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述整形鏡的工作波長為355nm,有效孔徑為8.5mm,輸入光斑大小為4mm?(1/e2)?，光斑尺寸為0.17×0.17毫弧度，光斑形貌為平頂光斑。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光整形裝置，其特征在于，所述整形鏡的材質(zhì)為熔融石英。
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