[實用新型]一種壓電式壓力傳感器有效
| 申請號： | 201320859587.2 | 申請日： | 2013-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN203719797U | 公開（公告）日： | 2014-07-16 |
| 發明（設計）人： | 譚曉蘭;汪海濤;趙全亮;李佳瑋 | 申請（專利權）人： | 北方工業大學 |
| 主分類號： | G01L1/16 | 分類號： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 100144 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓電 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電式壓力傳感器，包括：基底、電極、敏感元件和掩蔽層，其中，所述敏感元件位于所述電極背離所述基底的一面上，其特征在于，所述敏感元件包括靜電紡絲工藝形成的多條壓電纖維，所述多條壓電纖維與所述電極電性接觸。
2.根據權利要求1所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述壓電纖維為多鐵性納米結構壓電纖維。
3.根據權利要求1所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述多條壓電纖維的直徑的范圍為0.1μm～1μm，包括端點值。
4.根據權利要求1所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述多條壓電纖維位于所述電極的指部區域。
5.根據權利要求1所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述多條壓電纖維平行排列。
6.根據權利要求5所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述多條壓電纖維與所述電極的指部所呈的角度為90度。
7.根據權利要求6所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述多條壓電纖維均勻分布。
8.根據權利要求1所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述基底的空腔為梯臺形空腔。
9.根據權利要求1所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述掩蔽層的厚度范圍為0.1μm～0.3μm，包括端點值。
10.根據權利要求1所述的壓電式壓力傳感器，其特征在于，所述電極的厚度范圍為0.1μm～0.3μm，包括端點值。
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