[實用新型]光刻膠回收再利用系統

有效

• 申請號: 201320856278.X
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN203630510U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 李東勛
• 申請（專利權）人: 徐州同鑫光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 徐州支點知識產權代理事務所(普通合伙) 32244
• 代理人: 李中華

技術領域

本實用新型涉及一種光刻膠噴淋系統，具體是一種光刻膠回收再利用系統。

背景技術

光刻膠噴淋系統是將一定量光刻膠涂布于半導體晶元上。通常來說，半導體晶元光刻工藝是指，采用稱為光刻膠的物質進行涂布,然后進行光刻，將光罩上的圖案刻錄到涂布好的晶元上的工藝。

這里說的涂布用光刻膠，是通過圖1所示的光刻膠噴淋裝置，將一定量的光刻膠噴灑于晶元表面。如圖1所示，光刻膠噴淋裝置包括光刻膠供給槽一80、光刻膠供給槽二90、緩存槽一81、緩存槽二91、噴淋泵23、過濾器24和止回閥26等部件。

前期，光刻膠供給槽一80充滿光刻膠，并供給與其對應的緩存槽一81，緩存槽一81內的光刻膠通過三通閥22提供噴淋泵23所需的光刻膠。此狀態下，從外部感知到光刻膠噴淋信號，空氣電磁閥制動，使得空氣由通氣孔流入噴淋泵23。噴淋泵23內氣缸在空氣壓力作用下制動，帶動與其相連的波紋管收縮，將其內部光刻膠抽到噴淋泵23出口處。同時，過濾器單元存儲的光刻膠經過濾器24過濾，并隨著噴淋泵23制動的壓力被推向噴嘴方向，然后光刻膠通過噴嘴，經由止回閥26噴向晶元10。

當其中一個光刻膠供給槽一80內的光刻膠消耗殆盡，監視傳感器感知到信號，此時控制開合狀態的三通閥22會轉換為“關閉”狀態，并更換另一個光刻膠供給槽二90，此時光刻膠供給路徑發生變化。同理，當光刻膠供給槽二90內的光刻膠消耗殆盡，監視傳感器感知到信號，又會重新切會光刻膠供給槽一80，如此往復，2個供給槽之間不斷進行切換。

如果想要更換光刻膠供給槽，或者清除光刻膠供給管路內殘存的空氣時，需要往光刻膠供給槽一80、光刻膠供給槽二90內注入氮氣，維持一定壓力。這樣一來，光刻膠管路內殘存的光刻膠會流向緩存槽一81、緩存槽二91。此時與緩存槽一81、緩存槽二91相連的排氣閥一82、排氣閥二92處于“打開”狀態，這樣混合空氣氣泡的光刻膠則通過排氣閥一82、排氣閥二92排出。被排出的光刻膠無法回收，造成高價光刻膠浪費。同時，為清除光刻膠噴淋過程中的空氣，與過濾器24相連的排氣閥三25通常情況下處于1/4打開狀態，這樣噴淋泵23加壓時，又會有少量光刻膠通過排氣閥二25排出，造成浪費。

發明內容

針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種光刻膠回收再利用系統，可回收再利用光刻膠。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種光刻膠回收再利用系統，包括光刻膠供給槽一、光刻膠供給槽二、緩存槽一、緩存槽二、三通閥、噴淋泵、過濾器和止回閥；光刻膠供給槽一、緩存槽一、三通閥、噴淋泵、過濾器、止回閥、晶元依次通過管路連接；光刻膠供給槽二、緩存槽二同時連接三通閥閥口；緩存槽一、緩存槽二、過濾器上分別設有排氣閥一、排氣閥二、排氣閥三；

還包括回收管路一、回收管路二、回收管路三、回收供給管路、靜電容量傳感器和回收槽；回收管路一一端連接緩存槽一上的排氣閥一、另一端連接回收槽；回收管路二一端連接緩存槽二上的排氣閥、另一端連接回收槽；回收管路三一端連接回收槽、另一端連接到過濾器上的排氣閥三；回收供給管路一端連接光刻膠供給槽二、另一端連接至回收槽；靜電容量傳感器安裝在回收槽上。

回收管路一、回收管路二、回收管路三上均設置單向閥。

回收供給管路上還設有手動閥。

與現有的系統相比：本實用新型設置了回收槽與回收管路，具有光刻膠回收功能，可以將浪費掉的光刻膠回收再利用，不僅可以減少資源的浪費，還可以達到降低成本的效果。

附圖說明

圖1是現有系統的原理圖；

圖2是本實用新型的系統原理示意圖。

圖中：1、回收管路一，2、回收管路二，3、回收管路三，10、晶元，22、三通閥，23、噴淋泵，24、過濾器，25、排氣閥三，26、止回閥，80、光刻膠供給槽一，81、緩存槽一，82、排氣閥一，90、光刻膠供給槽二，92、排氣閥二，200、單向閥，210、靜電容量傳感器，220、回收槽，230、手動閥，280、回收供給管路。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。