[實用新型]化學氣相沉積設備的工件裝卡工具

有效

• 申請號: 201320854874.4
• 申請日: 2013-12-24
• 公開（公告）號: CN203653693U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 胡恒寧;周彤;李洪林;曾祥才;吳春濤;薛峰;李波
• 申請（專利權）人: 成都工具研究所有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 成都立信專利事務所有限公司 51100
• 代理人: 馮忠亮

1.化學氣相沉積設備的工件裝卡工具，其特征在于由正棱錐體或圓錐體與同軸的位于正棱錐體或圓錐體下面的柱體組成，柱體的直徑小于舟皿的孔徑和正棱錐體下面正多邊形的軸長或圓錐體下面圓的直徑。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉積設備的工件裝卡工具，其特征在于由金屬陶瓷或石墨或鉬或不銹鋼或硬質合金制成,所述正棱錐體為正五棱錐體或正四棱錐體或正三棱錐體。

3.化學氣相沉積設備的工件裝卡工具,其特征在于為底面為長方形的等腰楔形體，等腰楔形體的頂部為鋸齒形，鋸齒齒尖截面為等腰或等邊三角形，鋸齒其它部分截面為等腰梯形，等腰楔形體至少為兩個。

4.根據權利要求3所述的化學氣相沉積設備的工件裝卡工具，其特征在于鋸齒齒尖為2—20個，由金屬陶瓷或石墨或鉬或不銹鋼或硬質合金制成。