[實用新型]一種多頂針芯片剝離裝置

有效

• 申請號: 201320853755.7
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN203631491U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 陳建魁;尹周平;溫雯;付宇;吳沛然
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/67
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李智

1.一種多頂針芯片剝離裝置，其特征在于，包括:

多頂針主體機構（100），安裝于Z向升降機構（300）上并連接旋轉驅動機構（200），其包括中心頂針（132）和外圈頂針（133），外圈頂針（133）先接觸藍膜上芯片的外緣實現預頂松，然后中心頂針（132）加速上升至外圈頂針等高并協作頂起芯片，完成芯片剝離；

旋轉驅動機構（200），連接多頂針主體機構（100），用于先后驅動外圈頂針（133）和中心頂針（132）上升以完成芯片頂起動作；

Z向升降機構（300），安裝于三自由度微調對準機構（400）上，停機狀態時其處于下降位置，方便各部件的更換和調節，工作狀態其處于抬升位置以使得多頂針主體機構（100）靠近藍膜，為頂起芯片做好準備；

三自由度微調對準機構（400），用于對多頂針主體機構（100）進行X、Y和Z向的微調，實現多頂針主體機構（100）與藍膜上芯片的精確對準。

2.根據權利要求1所述的多頂針芯片剝離裝置，其特征在于，所述多頂針主體機構包括外殼（130）、外圈頂針套筒桿（113）、中心頂針連桿（112）、軸承（111）、第一復位機構（114）、第二復位機構（150）、真空密封模塊（160）、真空氣管接頭（140）、環形頂針座（115）、頂針夾持機構（131）、中心頂針（132）和外圈頂針（133）和藍膜吸附頂盤（120）；

外殼（130）內安放有外圈頂針套筒桿（113），外圈頂針套筒桿（113）內安放有中心頂針連桿（112），外圈頂針套筒桿（113）可相對外殼軸向移動，中心頂針連桿（112）可相對外殼（130）軸向移動；中心頂針連桿（112）與外圈頂針套筒桿（113）之間安放有用于對中心頂針連桿（112）起到復位作用的第一復位機構（114）；外殼(130)與外圈頂針套筒桿(113)之間安放有用于對外圈頂針套筒桿(113)起到復位作用的第二復位機構(150)；真空密封模塊(160)用于將外殼(130)、外圈頂針套筒桿(113)和中心頂針連桿(112)之間形成一密封腔，外殼(130)連通真空氣管接頭(140)；外圈頂針套筒桿(113)的頂端固定有環形頂針座(115)，環形頂針座(115)上開有中心通孔和外圈通孔，中心通孔和外圈通孔內安放有頂針夾持機構(131)；中心通孔內的頂針夾持機構(131)夾持有中心頂針(132)且其下方正對中心頂針連桿(112)的頂端，外圈通孔內的頂針夾持機構(131)夾持有外圈頂針(133)；外殼(130)的頂端固定有藍膜吸附頂盤(120)，中心頂針(132)和外圈頂針(133)的頂端伸出藍膜吸附頂盤(120)以頂起芯片；外圈頂針套筒桿(113)和中心頂針連桿(112)的底端分別連接一個軸承(111)，兩軸承連接旋轉驅動機構的輸出端。

3.根據權利要求2所述的多頂針芯片剝離裝置，其特征在于，所述頂針夾持機構(131)包括頂針套(116)和調節螺釘(118)；頂針套(116)安放于環形頂針座(115)的中心或外圈通孔中，用于夾持中心或外圈頂針；調節螺釘(118)與中心或外圈頂針底部接觸，用于調節中心或外圈頂針高度；頂針套(116)的中部具有凸肩，凸肩下端面壓在環形頂針座(115)上表面；頂針套(116)的側面開有線槽，用于對頂針彈性壓緊，方便頂針的插入和拔出；用于夾持中心頂針(132)的頂針套(116)的下半段為螺旋段，用于夾持外圈頂針的頂針套(116)的下半段為光桿段。

4.根據權利要求3所述的多頂針芯片剝離裝置，其特征在于，所述環形頂針座(115)的外圈通孔朝外開有線性通槽。

5.根據權利要求2或3或4所述的多頂針芯片剝離裝置，其特征在于，所述第一復位機構(114)為線性圓彈簧。

6.根據權利要求2或3或4所述的多頂針芯片剝離裝置，其特征在于，所述第二復位機構(150)為板簧，板簧一側與外殼(130)固定連接，另一側固定有鋼珠，外圈頂針套筒桿(113)側面開有與板簧等寬的方形槽，方形槽兩側面與板簧兩側接觸，能夠限制板簧周向轉動，方形槽內下端面與板簧接觸，外圈頂針套筒桿(113)向上移動后，受板簧作用得以恢復初始位置。

7.根據權利要求2或3或4所述的多頂針芯片剝離裝置，其特征在于，所述外圈頂針套筒桿(113)與中心頂針連桿(112)之間安放有滑動導向用的直線軸承，外圈頂針套筒桿(113)與外殼(130)之間安放有滑動導向用的直線軸承。