[實(shí)用新型]一種自動清理磁控濺射設(shè)備平面靶材表面的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320851351.4
• 申請日: 2013-12-23
• 公開（公告）號: CN203625462U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王偉
• 申請（專利權(quán)）人: 山東禹城漢能光伏有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 37218
• 代理人: 李桂存

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于真空濺射鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別設(shè)計(jì)一種自動清理磁控濺射設(shè)備平面靶材表面的裝置。

背景技術(shù)

目前，靶材從形狀上分大致可分為圓柱形靶材及平面形矩形靶材，由于圓柱形靶材及所需的旋轉(zhuǎn)靶座成本較高，從成本方面考慮價(jià)格成本相對較低的平面矩形靶材及靶座為優(yōu)選。?

靶材從材質(zhì)上又分為金屬類靶材、陶瓷類靶材、合金類靶材。磁控濺射設(shè)備內(nèi)磁場又分為固定式和移動式。當(dāng)使用陶瓷類靶材和固定式磁場分布的情況下，根據(jù)磁場排列情況會在靶材表面的固定區(qū)域內(nèi)形成“暗區(qū)”，“暗區(qū)”的意思就是靶材原子在該區(qū)域內(nèi)沉積的速度大于被濺射下去的速度。故該區(qū)域內(nèi)會形成靶材物質(zhì)的顆粒聚集物，當(dāng)顆粒物不足以附著在靶材上時就會成團(tuán)簇狀或片狀脫落，這些顆粒物脫落至底部基板上，造成基板不良。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種自動清理磁控濺射設(shè)備平面靶材表面的裝置。該一種自動清理磁控濺射設(shè)備平面靶材的裝置可用于防止靶材物質(zhì)在暗區(qū)內(nèi)成團(tuán)簇狀或片狀脫落對基板造成的不良。

為解決上述技術(shù)問題，本一種自動清理磁控濺射設(shè)備平面靶材表面的裝置，包括：

集成盒裝置，該集成盒裝置包括用于收集靶材表面顆粒物的上方開口的長方體盒子，盒子內(nèi)形成容置空間，還包括至少有一部分位于盒子上方的擦除裝置和位于擦除裝置下方用于驅(qū)動擦除裝置做上下往返運(yùn)動的上下驅(qū)動裝置，上下驅(qū)動裝置設(shè)置在盒子的內(nèi)部；

導(dǎo)向裝置，該導(dǎo)向裝置包括安裝在盒子兩端、且與盒子長度方向平行的固定軸，一端固定軸的端部設(shè)有軸承，軸承可滑動地安裝在軸承導(dǎo)向軌道中、能夠沿盒子寬度方向做往返運(yùn)動，另一端固定軸的端部設(shè)有連接件；

水平驅(qū)動裝置，通過與導(dǎo)向裝置另一端固定軸端部的連接件相連，連接并設(shè)置在集成盒裝置的下方，以驅(qū)動集成盒裝置做水平往返運(yùn)動。

靶材內(nèi)嵌入靶座上，靶座和側(cè)邊防護(hù)遮罩頂部設(shè)有密封外殼。工作時，集成盒裝置位于靶材下方。

如此設(shè)計(jì)，集成盒裝置通過水平驅(qū)動裝置和導(dǎo)向裝置在靶材下方移動、并通過上下驅(qū)動裝置接觸靶材表面時，可以將靶材表面的顆粒物通過擦除裝置刷至盒子中，通過定期清理盒子中的顆粒物來達(dá)到減少常規(guī)清潔靶材表面的目的。

作為優(yōu)化，盒子寬度方向內(nèi)側(cè)設(shè)有用于放置擦除裝置的卡槽；擦除裝置包括刷子毛，該刷子毛底部設(shè)有與其尺寸相匹配的刷子基座，刷子基座中間開有圓孔、兩端卡設(shè)在卡槽上。如此設(shè)計(jì)，便于安裝和加工、且使用很方便。

作為優(yōu)化，上下驅(qū)動裝置包括電機(jī)Ⅰ以及由絲杠Ⅰ和螺母Ⅰ配套組成的滾珠絲桿副Ⅰ，滾珠絲桿副Ⅰ豎直安裝在電機(jī)Ⅰ上，螺母Ⅰ安裝在刷子基座中間的圓孔內(nèi)。如此設(shè)計(jì)，便于安裝和加工、且使用很方便。

作為優(yōu)化，盒子為金屬外殼，且其內(nèi)部設(shè)有金屬框，盒子和金屬框之間設(shè)有防止顆粒物飛濺的硅膠板，該硅膠板突出金屬外殼上沿、且其頂部比刷子毛頂端低。如此設(shè)計(jì)，可以使集成盒裝置上升后硅膠板剛剛接處靶材表面，同時刷子毛比硅膠板高，能夠?qū)胁谋砻骖w粒物清掃至集塵盒中。

作為優(yōu)化，絲杠Ⅰ外設(shè)有護(hù)套波紋管Ⅰ。如此設(shè)計(jì)，防止了顆粒物雜質(zhì)對絲桿Ⅰ的污染，增加了絲桿Ⅰ和螺母Ⅰ的使用壽命。

作為優(yōu)化，水平驅(qū)動裝置包括安裝于腔室內(nèi)的由絲杠Ⅱ及螺母Ⅱ配套組成的滾珠絲桿副Ⅱ，以及設(shè)置在腔室外的帶動絲杠Ⅱ轉(zhuǎn)動的電機(jī)Ⅱ、兩個齒輪和皮帶，其中，一個齒輪和電機(jī)Ⅱ的電機(jī)軸連接，另一個齒輪連接絲杠Ⅱ的一端，絲杠Ⅱ另一端端部設(shè)有支撐軸承，支撐軸承設(shè)置在固定塊上，該固定塊設(shè)置在腔室內(nèi)部邊緣。如此設(shè)計(jì)，便于加工和安裝，并驅(qū)動集成盒裝置做水平往返運(yùn)動。

作為優(yōu)化，導(dǎo)向裝置固定軸端部的連接件與螺母Ⅱ相連。如此設(shè)計(jì)，便于連接導(dǎo)向裝置和水平驅(qū)動裝置。

作為優(yōu)化，腔室外設(shè)有密封用磁流體。

作為優(yōu)化，還包括位于腔室內(nèi)、設(shè)置在軸承導(dǎo)向軌道側(cè)的用于定位和控制集成盒裝置的三個sensor，順序安裝分別為sensorⅠ、sensorⅡ和sensorⅢ，其中，sensorⅠ和sensorⅡ之間的距離與靶材長度等距，sensorⅢ靠近固定塊。如此設(shè)計(jì)，便于對集成盒裝置進(jìn)行定位和控制。

作為優(yōu)化，軸承導(dǎo)向軌道側(cè)設(shè)有擋板。如此設(shè)計(jì)，可防止靶材物質(zhì)濺射到軸承導(dǎo)向軌道及軸承內(nèi)，增加軸承及軸承導(dǎo)向軌道軌道的使用壽命。

作為優(yōu)化，絲杠Ⅱ外設(shè)有護(hù)套波紋管Ⅱ。如此設(shè)計(jì)，防止了顆粒物雜質(zhì)對絲桿Ⅱ的污染，增加了絲桿Ⅱ和螺母Ⅱ的使用壽命。

本實(shí)用新型一種自動清理磁控濺射設(shè)備平面靶材表面的裝置具有以下有益效果：