[實用新型]一種基于動壓效應的盤式拋光裝置有效
| 申請號： | 201320849909.5 | 申請日： | 2013-12-17 |
| 公開（公告）號： | CN203622138U | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發明（設計）人： | 林彬;張曉峰;劉文龍;柳鵬飛;李巖 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | B24B13/00 | 分類號： | B24B13/00;B24B13/01;B24B57/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201 | 代理人： | 宋潔瑾 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 效應 拋光 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于動壓效應的盤式拋光裝置，包括拋光頭和粘接在拋光頭上的拋光墊，其特征在于，所述拋光頭下部為圓盤式結構與拋光墊一同形成拋光盤，盤底部帶有動壓槽，拋光盤為中間帶孔的環形結構，拋光液由拋光盤中心孔通道噴出。
2.根據權利要求1所述基于動壓效應的盤式拋光裝置，其特征在于，所述拋光盤底部動壓槽為直槽形式，槽個數為6個，沿圓周平均分布，拋光盤半徑為20mm，槽深度為0.4mm，寬度為0.6mm。
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