[實用新型]X熒光測厚儀的電動樣品臺

有效

• 申請號: 201320846406.2
• 申請日: 2013-12-20
• 公開（公告）號: CN203704891U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 宋涵華
• 申請（專利權）人: 上海優特化工有限公司
• 主分類號: G01B15/02
• 分類號: G01B15/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于光學儀器技術領域，涉及一種X熒光測厚儀的電動樣品臺

背景技術??

????X熒光測厚儀利用X射線穿透被測材料時，X射線的強度的變化與材料的厚度相關的特性，從而測定材料的厚度，是一種非接觸式的動態計量儀器。它能夠測定電子器件、五金電鍍和金屬合金如貴金屬合金的質量和過程控制進行厚度檢測和分析，例如印制電路板的質量和可靠性取決于板上金、鎳、銅的鍍層厚度；檢測時將印制電路板放在X熒光測厚儀的樣品臺上，通過激光定位檢測印制電路板不同位置的金屬鍍層厚度。傳統的X熒光測厚儀采用手動式或者半自動式的樣品臺，采用絲杠手動或半自動控制，絲杠的配合精度會影響樣品臺的定位精度，并且控制精度差，容易造成檢測誤差。

發明內容

針對上述情況，本實用新型提供一種X熒光測厚儀的電動樣品臺，可三軸聯動調節被測物品與X射線管之間的距離，結構合理緊湊，穩定性強，采用光電感應定位，控制精度高，定位精準。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：

X熒光測厚儀的電動樣品臺，包括XY軸定位組件、Z軸定位組件、樣品臺板和底板，Z軸定位組件安裝在底板上，XY軸定位組件頂部安裝有樣品臺板，其特征在于，還包括控制器，所述Z軸定位組件包括Z軸立板、兩塊Z軸線性滑軌、兩塊滑板導向滑塊、Z軸伺服絲杠、Z軸伺服電機、Z軸滑板組件、Z軸軸承座、Z軸開關連接導軌、兩個Z軸光電開關、Z軸限位感應片，Z軸立板設于底板上，Z軸立板中部對稱垂直設置有兩塊Z軸線性滑軌，Z軸立板一側設有Z軸開關連接導軌，Z軸立板前方設有立有Z軸伺服絲杠，Z軸立板后方設有Z軸伺服電機，所述Z軸開關連接導軌的上部和下部分別設有一個Z軸光電開關，所述Z軸軸承座固定在底板上，所述Z軸伺服絲杠與Z軸軸承座之間通過軸承連接，Z軸伺服絲杠底端通過齒輪和同步帶與伺服電機連接，Z軸伺服絲杠中部與Z軸滑板組件滑動連接，Z軸滑板組件后側與兩塊Z軸線性滑軌相對應的位置分別設置有滑板導向滑塊，滑板導向滑塊與Z軸線性滑軌滑動連接，Z軸滑板組件靠近Z軸開關連接導軌的一側設有Z軸限位感應片，Z軸滑板組件頂部設有XY軸定位組件，XY軸定位組件頂部設有樣品臺板。

所述XY軸定位組件包括X軸定位組件、Y軸定位組件和十字滑塊，X軸定位組件和Y軸定位組件之間通過十字滑塊滑動連接；所述X軸定位組件包括X軸底板、兩塊X軸側板、兩塊X軸線性滑軌、兩塊X軸導向滑塊、X軸伺服絲杠、X軸螺母、X軸伺服電機、X軸開關導軌、兩個X軸光電開關、X軸限位感應片；所述Y軸定位組件包括Y軸螺母、Y軸導向塊、兩塊Y軸線性滑軌、Y軸頂板、Y軸伺服絲杠、Y軸伺服電機、Y軸開關導軌、兩個Y軸光電開關、Y軸限位感應片。

所述Z軸滑板組件包括兩塊Z軸滑塊立肋板、Z軸滑塊固定板、Z軸滑塊頂板、Z軸滑塊背板。

所述Z軸定位組件還包括兩塊Z軸立肋板，Z軸立肋板設于Z軸立板兩側。

所述Z軸滑塊立肋板、Z軸立肋板、Z軸滑塊頂板、X軸底板、Y軸頂板上均設有多個腰形孔。

所述X軸伺服電機、Y軸伺服電機、Z軸伺服電機、X軸限位感應片、Y軸限位感應片、Z軸限位感應片均與控制器連接。

本實用新型的優點是：可三軸聯動調節被測物品與X射線管之間的距離，結構合理緊湊，穩定性強，采用光電感應定位，控制精度高，定位精準。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例的立體圖。

圖2為本實用新型一實施例的另一側的立體圖。

在圖中：1-樣品臺板；2-底板；3-Z軸立板；4-Z軸線性滑軌；5-滑板導向滑塊；6-Z軸伺服絲杠；7-Z軸伺服電機；8-Z軸滑板組件；9-Z軸軸承座；10-Z軸開關連接導軌；11-Z軸光電開關；12-Z軸限位感應片，13-X軸底板，14-X軸側板；17-X軸伺服絲杠；18-X軸螺母，19-X軸伺服電機，20-X軸開關導軌，21-X軸光電開關，22-X軸限位感應片；23-Y軸螺母，24-Y軸導向塊，25-Y軸線性滑軌，26-Y軸頂板；27-Y軸伺服絲杠，29-Y軸伺服電機，30-Y軸開關導軌，31-Y軸光電開關，33-十字滑塊。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。