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[實(shí)用新型]高真空油擴(kuò)散泵油位觀察窗有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201320846187.8 申請(qǐng)日: 2013-12-20
公開(公告)號(hào): CN203627343U 公開(公告)日: 2014-06-04
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李殿東;王莉;梁春 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 蘭州真空設(shè)備有限責(zé)任公司
主分類號(hào): F04F9/00 分類號(hào): F04F9/00
代理公司: 甘肅省知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)中心 62100 代理人: 張克勤
地址: 730050 甘肅*** 國(guó)省代碼: 甘肅;62
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 真空 擴(kuò)散 泵油位 觀察窗
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)用新型涉及油擴(kuò)散泵技術(shù)領(lǐng)域,具體的說是一種能夠在高溫環(huán)境下正常使用、可靠性高、維修成本低、使用壽命長(zhǎng)的高真空油擴(kuò)散泵油位觀察窗。

背景技術(shù)

普通的高真空油擴(kuò)散泵玻璃觀察窗常采用法蘭與獨(dú)立的玻璃之間通過橡膠密封圈進(jìn)行密封的結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)在安裝后常溫狀態(tài)下滿足真空密封要求,觀察窗在油擴(kuò)散泵正常工作過程中經(jīng)常發(fā)生泄漏,可以看到有連續(xù)氣泡產(chǎn)生,在長(zhǎng)期使用后氣泡現(xiàn)象更頻繁發(fā)生。為了克服以上缺點(diǎn),制造廠商通過提高密封面加工精度、將普通丁腈橡膠密封圈更換為氟橡膠密封圈或硅橡膠密封圈,甚至加長(zhǎng)油管長(zhǎng)度和在油管上焊接冷卻水管或冷卻水套結(jié)構(gòu)來保證密封的可靠性。

在實(shí)際使用過程中,該結(jié)構(gòu)存在如下幾點(diǎn)缺點(diǎn):1)橡膠密封圈在大于300℃的高溫條件下容易發(fā)生變形,失去高真空密封要求所需的彈性,不能滿足真空密封要求;2)橡膠密封圈在常溫環(huán)境中其使用壽命不大于2年,需要經(jīng)常更換;3)安裝過程中和高溫狀態(tài)下,玻璃外圈受到金屬法蘭施加到橡膠密封圈表面上外力的作用,會(huì)使玻璃受力不均勻,可能發(fā)生玻璃破裂和炸裂的現(xiàn)象;4)在更換橡膠密封圈過程中容易發(fā)生故障。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案為:

一種高真空油擴(kuò)散泵油位觀察窗,它包括法蘭、緊固件、玻璃觀察窗、法蘭與接管焊接在一起組成的觀察窗座,所述法蘭與所述玻璃觀察窗之間設(shè)有金屬密封墊,在所述法蘭與所述金屬密封墊的接觸端面上設(shè)有刃角。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述金屬密封墊材料為紫銅,厚度為2mm~3mm。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn),所述金屬密封墊的表面粗糙度為3.0μm~3.2μm。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn),所述玻璃觀察窗與所述法蘭通過釬焊工藝封接為一體。

本實(shí)用新型在法蘭端面上設(shè)置刃角,金屬密封墊放置在玻璃觀察窗和法蘭之間,法蘭的刃角接觸到金屬密封墊。當(dāng)兩個(gè)法蘭通過緊固件連接并緊固時(shí),法蘭的刃角壓向金屬密封墊,分別在金屬密封墊兩側(cè)壓出新鮮的金屬表面,從而形成可靠的密封面。當(dāng)兩個(gè)法蘭緊固到位后,法蘭面之間仍然保持有1mm左右的間隙,以防止金屬密封墊過薄而使得法蘭面完全貼合,刃角無法有效壓出足夠深度的新鮮密封面;紫銅材質(zhì)的金屬密封墊具有耐高溫、塑性好的特點(diǎn),高精度的表面粗糙度能夠滿足油位觀察窗的密封性能要求;采用法蘭與玻璃觀察窗通過釬焊工藝封接為一體,以避免玻璃在安裝和使用過程中由于受力不均而造成破損;本實(shí)用新型具有適宜于在高真空或超高真空環(huán)境中使用、耐高溫可烘烤、不污染泵油、無需更換密封墊、高可靠密封性能、使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn),節(jié)約了生產(chǎn)和維修成本、增強(qiáng)了油擴(kuò)散泵的真空性能。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是圖1中本實(shí)用新型的刃角局部放大圖;

圖3是本實(shí)用新型的立體圖;

圖4是圖3中本實(shí)用新型的剖視圖;

圖5是本實(shí)用新型安裝到油擴(kuò)散泵上的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中:1、緊固件,2、金屬密封墊,3、玻璃觀察窗,4、接管,5、法蘭,6、觀察窗座,7、刃角。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

如圖1至圖5所示的一種高真空油擴(kuò)散泵油位觀察窗,它包括法蘭5、緊固件1、玻璃觀察窗3、法蘭5與接管4焊接在一起組成的觀察窗座6,法蘭5與玻璃觀察窗3之間設(shè)有金屬密封墊2,在法蘭5與金屬密封墊2的接觸端面上設(shè)有刃角7。

金屬密封墊2材料為紫銅,厚度為2mm~3mm,表面粗糙度為3.0μm~3.2μm。

玻璃觀察窗3與法蘭5通過釬焊工藝封接為一體,形成金屬法蘭玻璃觀察窗。

在安裝過程中,對(duì)觀察窗座6上的焊縫進(jìn)行壓力檢測(cè)和真空氦質(zhì)譜檢測(cè),滿足真空密封要求后,將觀察窗座6焊接到油擴(kuò)散泵的油鍋上,焊接后對(duì)焊縫進(jìn)行真空氦質(zhì)譜檢測(cè)。

將金屬法蘭玻璃觀察窗、金屬密封墊2、法蘭5通過緊固件1連接在一起,依次并逐次對(duì)緊固件按照對(duì)角擰緊,最后進(jìn)行真空氦質(zhì)譜檢漏,密封面滿足真空密封要求。則本實(shí)用新型安裝完畢。

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2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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