[實(shí)用新型]一種排氣調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320844349.4
• 申請日: 2013-12-19
• 公開（公告）號: CN203737694U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王麗榮;劉紅麗
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: B08B15/00
• 分類號: B08B15/00
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種排氣調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體加工行業(yè)，設(shè)備工藝生產(chǎn)線耗資巨大，設(shè)備的總體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)必須考慮空間、成本等問題，使設(shè)備盡可能占據(jù)空間更小的潔凈廠房，因此在較小空間內(nèi)對加工設(shè)備的各組成部分進(jìn)行科學(xué)布局和簡化結(jié)構(gòu)顯得尤為重要，同時(shí)還要保證能夠方便操作與維修。

一般在半導(dǎo)體加工設(shè)備上需要排氣的位置比較多，比如爐體排氣、微環(huán)境排氣、腔室排氣、氣盒排氣，爐口排氣等。在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體設(shè)備中，以上排氣位置均是在不同位置設(shè)計(jì)支排氣管路以及在支排氣管路內(nèi)部安裝風(fēng)門，不同位置的支排氣管路再連接到主排氣管路上，通過上述結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)排氣調(diào)節(jié)的功能，但是由于是在不同位置設(shè)置支排氣管路，而且需要排氣的位置又比較多，多以造成整個(gè)設(shè)備結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，占空間比較大，成本也高。

實(shí)用新型內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

針對上述缺陷，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何改變現(xiàn)有的排氣裝置實(shí)現(xiàn)支管路位置的排氣，簡化結(jié)構(gòu)，節(jié)省空間，降低成本。

（二）技術(shù)方案

為解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種排氣調(diào)節(jié)裝置，設(shè)置在主排氣管上，所述排氣調(diào)節(jié)裝置包括設(shè)置在主排氣管側(cè)壁上的排氣孔，還包括調(diào)節(jié)板和調(diào)節(jié)螺釘，用調(diào)節(jié)螺釘將調(diào)節(jié)板固定在主排氣管外壁上分布有排氣孔的位置，所述調(diào)節(jié)板上設(shè)置有通風(fēng)孔，且調(diào)節(jié)板的位置可沿著主排氣管的軸線方向進(jìn)行調(diào)節(jié)。

進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)板上設(shè)置有螺釘孔，所述調(diào)節(jié)螺釘通過所述螺釘孔將其固定在主排氣管上。

進(jìn)一步地，所述排氣孔和所述通風(fēng)孔的形狀為圓形、長圓形或者方形。

進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)板的大小與所述排氣孔的分布保持一致。

進(jìn)一步地，當(dāng)主排氣管的截面形狀為方形時(shí)，在主排氣管外壁四面中的至少一面上分布有排氣孔。

進(jìn)一步地，當(dāng)方形主排氣管只有一面分布有排氣孔時(shí)，調(diào)節(jié)板覆蓋在該一面主排氣管的外壁上；當(dāng)方形主排氣管有兩面分布有排氣孔時(shí)，調(diào)節(jié)板覆蓋在該兩面主排氣管的外壁上；當(dāng)方形主排氣管有三面分布有排氣孔時(shí)，調(diào)節(jié)板覆蓋在該三面主排氣管的外壁上；當(dāng)方形主排氣管的四面都分布有排氣孔時(shí)，調(diào)節(jié)板覆蓋在主排氣管的整個(gè)外壁上。

進(jìn)一步地，當(dāng)主排氣管的截面形狀為圓形時(shí)，所述排氣孔分布在主排氣管外壁圓周的一半或全周。

進(jìn)一步地，當(dāng)圓形主排氣管外壁全周都分布有排氣孔時(shí)，調(diào)節(jié)板具有圓管裝結(jié)構(gòu)，且套裝在所述主排氣管的外側(cè)；當(dāng)圓形主排氣管外壁圓周的一半分布有排氣孔時(shí)，調(diào)節(jié)板為板狀，與圓形主排氣管的外壁形狀保持一致，且覆蓋在圓形主排氣管上有排氣孔分布的位置。

進(jìn)一步地，所述排氣孔和通風(fēng)孔的形狀和大小一致。

進(jìn)一步地，還包括負(fù)壓管路，一端與安裝有調(diào)節(jié)板的主排氣管連接，另一端與外界連通。

（三）有益效果

本實(shí)用新型提供了一種排氣調(diào)節(jié)裝置，設(shè)置在主排氣管上，其中排氣調(diào)節(jié)裝置包括設(shè)置在主排氣管側(cè)壁上的排氣孔，還包括調(diào)節(jié)板和調(diào)節(jié)螺釘，用調(diào)節(jié)螺釘將調(diào)節(jié)板固定在主排氣管外壁上分布有排氣孔的位置，所述調(diào)節(jié)板上設(shè)置有通風(fēng)孔，且調(diào)節(jié)板的位置可沿著主排氣管的軸線方向進(jìn)行調(diào)節(jié)。通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)板的位置就能實(shí)現(xiàn)對排氣量的控制和調(diào)節(jié)，當(dāng)調(diào)節(jié)板上的通風(fēng)孔與主排氣管上的排氣孔重合時(shí)達(dá)到排氣孔全開的狀態(tài)；當(dāng)調(diào)節(jié)板上的通風(fēng)孔與主排氣管上的排氣孔一部分重合，一部分錯(cuò)開時(shí)達(dá)到排氣孔半開的狀態(tài)；當(dāng)調(diào)節(jié)板上的通風(fēng)孔與主排氣管上的排氣孔完全錯(cuò)開時(shí)達(dá)到排氣孔全關(guān)的狀態(tài)。通過將該排氣調(diào)節(jié)裝置安裝在原有設(shè)備的主排氣管和支排氣管的連接處，使得改進(jìn)后的排氣裝置結(jié)構(gòu)簡單，還能滿足設(shè)備的排氣需求，并且對于排氣的調(diào)節(jié)更加靈活方便。由于減少了支排氣管的設(shè)置，能夠減小設(shè)備整體占用的空間，同時(shí)降低設(shè)備制造成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種排氣調(diào)節(jié)裝置的排氣孔全開狀態(tài)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種排氣調(diào)節(jié)裝置的排氣孔半開狀態(tài)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種排氣調(diào)節(jié)裝置的排氣孔全關(guān)狀態(tài)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的一種排氣調(diào)節(jié)裝置的排氣孔全開狀態(tài)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的一種排氣調(diào)節(jié)裝置的排氣孔半開狀態(tài)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的一種排氣調(diào)節(jié)裝置的排氣孔全關(guān)狀態(tài)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。